[发明专利]显示基板及其制备方法有效
申请号: | 202010544366.0 | 申请日: | 2020-06-15 |
公开(公告)号: | CN111668272B | 公开(公告)日: | 2023-07-14 |
发明(设计)人: | 郝艳军;屈财玉;李彦松;杜小波 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H10K59/122 | 分类号: | H10K59/122;H10K71/00 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 解婷婷;曲鹏 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 及其 制备 方法 | ||
提供了一种显示基板及其制备方法,该显示基板的制备方法包括:在衬底之上形成像素支撑层;在所述像素支撑层上放置掩膜版,通过所述掩膜版在所述衬底之上形成发光结构层;移除所述掩膜版;去除所述像素支撑层;以解决由于像素支撑层导致的显示基板出现多暗点不良的问题。
技术领域
本发明涉及触控技术领域,具体涉及一种显示基板及其制备方法。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode,简称:OLED)为主动发光显示器件,具有自发光、广视角、高对比度、低功耗、宽色域、轻薄化、可异形化等优点。随着显示技术的不断发展,OLED技术越来越多的应用于柔性显示和透明显示中。透明显示是显示技术的一个重要分支,是指在透明状态下进行图像显示,观看者不仅可以看到显示装置中的影像,而且可以看到显示装置背后的景象,可实现虚拟现实/增强现实(Virtual Reality/Augmented Reality,VR/AR)和3D显示功能。目前,有机发光二极管显示基板的显示区域容易出现多暗点不良的问题。
发明内容
本发明实施例所要解决的技术问题是,提供一种显示基板及其制备方法,以解决由于像素支撑层导致的显示基板出现多暗点不良的问题。
为了解决上述技术问题,本发明实施例提供了一种显示基板的制备方法,包括:
在衬底之上形成像素支撑层;
在所述像素支撑层上放置掩膜版,通过所述掩膜版在所述衬底之上形成发光结构层;
移除所述掩膜版;
去除所述像素支撑层。
在一些可能的实现方式中,去除所述像素支撑层之后,还包括:
在所述发光结构层上形成封装层。
在一些可能的实现方式中,所述在衬底之上形成像素支撑层,包括:
在所述衬底之上沉积光刻胶薄膜;
通过光源照射,使所述光刻胶薄膜的部分区域形成曝光区域,使所述光刻胶薄膜另一部分区域形成未曝光区域;
通过显影工艺,将所述未曝光区域的光刻胶薄膜去除,将所述曝光区域的光刻胶薄膜保留,所述曝光区域的光刻胶薄膜形成所述像素支撑层。
在一些可能的实现方式中,所述像素支撑层的材料采用负性感光光刻胶。
在一些可能的实现方式中,所述像素支撑层的竖截面呈倒梯形。
在一些可能的实现方式中,所述发光结构层在所述像素支撑层处断裂,使所述像素支撑层至少一侧的侧壁暴露。
在一些可能的实现方式中,去除所述像素支撑层,包括:
将所述像素支撑层浸入剥离液中,使所述剥离液与所述像素支撑层暴露的侧壁接触,将所述像素支撑层从所述衬底之上剥离。
在一些可能的实现方式中,所述形成发光结构层,包括:
在所述衬底之上形成空穴注入层;
在所述空穴注入层之上形成空穴传输层;
在所述空穴传输层之上形成电子阻挡层;
在所述电子阻挡层之上形成发光层;
在所述发光层之上形成空穴阻挡层;
在所述空穴阻挡层之上形成电子传输层;
在所述电子传输层之上形成电子注入层;
在所述电子注入层之上形成阴极;
在所述阴极之上形成光提取层;
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