[发明专利]一种高热流密度芯片散热装置及其制作方法有效
申请号: | 202010544841.4 | 申请日: | 2020-06-15 |
公开(公告)号: | CN111653532B | 公开(公告)日: | 2021-12-21 |
发明(设计)人: | 柯瑞林;黄佳敏;王玲;黄骏 | 申请(专利权)人: | 深圳市数聚天源人工智能有限公司 |
主分类号: | H01L23/367 | 分类号: | H01L23/367;H01L23/22;H01L23/373 |
代理公司: | 广东普润知识产权代理有限公司 44804 | 代理人: | 寇闯 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区西丽街道松坪山社*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 热流 密度 芯片 散热 装置 及其 制作方法 | ||
本申请涉及一种高热流密度芯片散热装置及其制备方法,高热流密度芯片散热装置包括散热箱体和芯片外壳,散热箱体为中空结构,芯片外壳置于散热箱体的内部,芯片封装于芯片外壳内,散热箱体和芯片外壳之间填充有散热填充物,芯片外壳的顶部嵌设有固化剂囊体和液态金属囊体,固化剂囊体内至少包括硅树脂囊层和固化剂囊层,固化剂囊层包覆硅树脂囊层,液态金属囊体内至少包括液态金属囊层。本申请实施例提供了一种高热流密度芯片散热装置及其制作方法,由于在芯片外壳顶部设置液态金属囊体和固化剂囊体,通过胶焊时施压即可实现将液态金属固定于芯片外壳顶部,并可有效防止过热时液态金属膨胀导致的焊接处断裂,更换维护成本更低。
技术领域
本申请涉及芯片散热技术领域,特别涉及一种高热流密度芯片散热装置及其制作方法。
背景技术
芯片温度是影响芯片使用寿命和性能的重要因素之一,当芯片温度过高时,遇到高温环境很容易引起起火、融化等危险情况,无论是应用在手机、电动车还是其它例如摄像机的芯片,都存在着此问题。当芯片温度过低时,物理反应速度变慢,例如芯片外壳封装或芯片焊接部位可能会发生细微的材料结构变化,导致恢复到室温后管脚不一定能恢复到原来的状态,造成断裂,导致芯片寿命缩短甚至终结。
随着科技的发展,芯片尺寸设计越来越小,功耗越来越高,这样也导致芯片发热量急速上升,芯片使用寿命变短。目前常用的芯片降温方法是真空腔均热板技术、热管常温技术或者两者的组合技术,但这两种技术有各自的问题,真空腔均热板技术的问题在于:虽然改善了散热问题,但是真空腔均热板在抽真空处理时,现有技术还未达到能够完全避免漏气,而且流水线抽真空加工成本高,漏气时维护成本更高;而热管常温技术,由于原理是利用水蒸发吸热,漏液也是非常常见的问题,而且漏液之后维护成本也不低,一旦漏液就可能造成短路融化等意外事故。
发明内容
本申请实施例提供一种高热流密度芯片散热装置及其制作方法,以解决相关技术中高热流密度芯片散热装置和方法中存在漏气、漏液,维护成本高的问题。
一方面,本申请实施例提供了一种高热流密度芯片散热装置,其包括散热箱体和芯片外壳,所述散热箱体为中空结构;芯片外壳为塑料外壳,芯片封装于芯片外壳内,所述芯片外壳置于散热箱体的内部,散热箱体和芯片外壳之间填充有散热填充物,芯片外壳的顶部嵌设有固化剂囊体和液态金属囊体,所述固化剂囊体内至少包括硅树脂囊层和固化剂囊层,固化剂囊层包覆硅树脂囊层,所述液态金属囊体内至少包括液态金属囊层。
一些实施例中,所述散热填充物包括石蜡和液态金属。
一些实施例中,所述固化剂囊体内还包括聚环氧树脂囊层,固化剂囊层包覆聚环氧树脂囊层,聚环氧树脂囊层包覆硅树脂囊层;所述液态金属囊体内还包括有机酸囊层和醇类有机溶剂囊层,所述有机酸囊层包覆醇类有机溶剂囊层,醇类有机溶剂囊层包覆液态金属囊层。
一些实施例中,所述有机酸囊层中的有机酸为甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、戊酸和己酸中的一种或几种。
一些实施例中,所述醇类有机溶剂囊层中的醇类有机溶剂为聚乙烯醇、2-甲基-1-丁醇、3-甲基-1-丁醇、1-戊醇、1-己醇、2-己醇、环己醇、1-甲基环己醇、2-甲基环己醇、3-甲基环己醇、2-乙基-己醇、1-庚醇、2-庚醇、苯甲醇、苯乙醇、乙二醇、2-甲氧基乙醇、2-乙氧基乙醇、2-丙氧基乙醇、2-丁氧基乙醇、二甘醇、1,2-丙二醇、1,3-丙二醇、1,3-丁二醇和1,4-丁二醇中的一种或几种。
一些实施例中,所述散热箱体内的散热填充物中穿插有多个散热管,散热管的底部接触芯片外壳顶部,所述散热管外壳为金属外壳,金属外壳内填充有液态金属。
一些实施例中,所述金属外壳的金属为铜、铝、铁、铜合金、铝合金和铁合金中的一种。
一些实施例中,所述液态金属囊层中的液态金属为镓、镓铟、镓铟锡、镓铟锡锌、铋、铅铋、铋铟锡和铋铟锡锌等合金中的一种。
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