[发明专利]电容型微机电系统麦克风、麦克风单体及电子设备

权利要求书

1.一种电容型微机电系统麦克风，包括：

背极板；

振膜；以及

间隔件，用于使得所述背极板和振膜间隔开，

其中，在未施加工作偏压的状态下，相对于平整位置，沿背离所述背极板的方向，所述振膜的至少一部分被预先拉偏；

所述振膜的至少一部分被预先拉偏的第一静态有效位移与振膜的厚度的比值大于等于0.2且小于等于3。

2.根据权利要求1所述的电容型微机电系统麦克风，其中，在施加工作偏压的状态下，所述振膜相对于平整位置的第二静态有效位移与振膜的厚度的比值大于或等于0.5。

3.根据权利要求2所述的电容型电容型微机电系统麦克风，其中，第二静态有效位移与振膜的厚度的比值大于或等于1。

4.根据权利要求1所述的电容型微机电系统麦克风，其中，通过应力结构，对所述振膜的至少一部分进行预先拉偏。

5.根据权利要求4所述的电容型微机电系统麦克风，其中，所述应力结构包括如下结构中的至少一个：

设置在所述振膜周边的应力环；

设置在所述振膜周边的纹膜；以及

设置在所述振膜上的复合膜结构。

6.根据权利要求4所述的电容型微机电系统麦克风，其中，所述应力结构包括位于振膜和背极板之间的支撑件，该支撑件的一端被固定到背极板，该支撑件的另一端被固定到振膜并将振膜分成至少两部分，所述支撑件的形变使得所述至少两部分中的一部分相对于背极板向外拉偏并使得所述至少两部分中的另一部分相对于背极板向内拉偏。

7.根据权利要求4所述的电容型微机电系统麦克风，其中，所述应力结构包括位于振膜和背极板之间的支撑件，该支撑件的一端被固定到背极板，该支撑件的另一端支撑翘起元件，该翘起元件的第一侧与振膜接触，该翘起元件的第二侧具有静电电路，以及当施加工作偏压时，所述静电电路被背极板吸引，以使得所述翘起元件的第一侧推动所述振膜向外侧凸起。

8.一种麦克风单体，包括单体外壳、根据权利要求1所述的电容型微机电系统麦克风以及集成电路芯片，其中，所述电容型微机电系统麦克风以及集成电路芯片被设置在所述单体外壳中。

9.一种电子设备，包括根据权利要求8所述的麦克风单体。