[发明专利]一种三氟磺酰胺六氢茚满类光刻胶树脂单体及其制备方法在审
| 申请号： | 202010549740.6 | 申请日： | 2020-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN111704563A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 贺宝元;傅志伟;邵严亮;刘司飞;李迟 | 申请（专利权）人： | 徐州博康信息化学品有限公司 |
| 主分类号： | C07C311/09 | 分类号： | C07C311/09;C07C303/40;G03F7/027;G03F7/004 |
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| 地址： | 221327 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 三氟磺酰胺六氢茚满类 光刻 树脂 单体 及其 制备 方法 | ||
1.一种三氟磺酰胺六氢茚满类光刻胶树脂单体，其特征在于，所述树脂单体包括以下结构通式：
其中，R1和R2分别包括C1～C12烷基、杂烷基或连接键；R3包括氢、卤素、C1～C12烷基或杂烷基。
2.根据权利要求1所述的三氟磺酰胺六氢茚满类光刻胶树脂单体，其特征在于，所述R1和R2分别包括C1～C6烷基或连接键，所述R3包括氢或C1～C6烷基。
3.根据权利要求2所述的三氟磺酰胺六氢茚满类光刻胶树脂单体，其特征在于，所述树脂单体包括以下结构：
其中所述R3包括氢或C1～C6烷基。
4.一种根据权利要求1-3任一所述的三氟磺酰胺六氢茚满类光刻胶树脂单体的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1，将三氟磺酰类化合物加入到氨基六氢茚满醇类化合物和碱混合液中，反应得到三氟磺酰胺六氢茚满醇类化合物；
S2，将所述三氟磺酰胺六氢茚满醇类化合物与丙烯酸类化合物混合，经过酯化反应，纯化得到三氟磺酰胺六氢茚满类光刻胶树脂单体。
5.根据权利要求4所述的三氟磺酰胺六氢茚满类光刻胶树脂单体的制备方法，其特征在于，所述氨基六氢茚满醇类化合物和三氟磺酰类化合物的摩尔比为1:(1～1.5)，三氟磺酰类化合物和碱的摩尔比为1:(1～3)；所述三氟磺酰胺六氢茚满醇类化合物和丙烯酸类化合物的摩尔比为1：(0.9～1)。
6.根据权利要求5所述的三氟磺酰胺六氢茚满类光刻胶树脂单体的制备方法，其特征在于，所述氨基六氢茚满醇类化合物、三氟磺酰类化合物和碱的摩尔比为1:1:1.5；所述三氟磺酰胺六氢茚满醇类化合物和丙烯酸类化合物的摩尔比为1：1。
7.根据权利要求4所述的三氟磺酰胺六氢茚满类光刻胶树脂单体的制备方法，其特征在于，S1中，所述氨基六氢茚满醇类化合物包括以下结构：
8.根据权利要求4所述的三氟磺酰胺六氢茚满类光刻胶树脂单体的制备方法，其特征在于，S1中，所述三氟磺酰类化合物包括三氟甲基磺酰氯、三氟甲基磺酰氟或三氟甲烷磺酸酐中的一种。
9.根据权利要求4所述的三氟磺酰胺六氢茚满类光刻胶树脂单体的制备方法，其特征在于，S2中，所述丙烯酸类化合物包括丙烯酸酐、丙烯酰氯、甲基丙烯酸酐或甲基丙烯酰氯中的一种。
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