[发明专利]一种用于处理铜表面的微蚀液在审
申请号: | 202010550712.6 | 申请日: | 2020-06-16 |
公开(公告)号: | CN111719155A | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 王伟 | 申请(专利权)人: | 东莞市伟腾环保科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/14 | 分类号: | C23F1/14 |
代理公司: | 东莞市浩宇专利代理事务所(普通合伙) 44460 | 代理人: | 许王军 |
地址: | 523000 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 处理 表面 微蚀液 | ||
1.一种用于处理铜表面的微蚀液,其特征在于:包括的组分有:硫酸铜、复合盐、氧化剂、电镀铜添加剂。
2.根据权利要求1所述的用于处理铜表面的微蚀液,其特征在于:所述用于处理铜表面的微蚀液各组分的含量为:以质量分数计,硫酸铜5-15%、复合盐10-30%、氧化剂80-120%、电镀铜添加剂0.5-1.5%。
3.根据权利要求2所述的用于处理铜表面的微蚀液,其特征在于:所述用于处理铜表面的微蚀液各组分的含量为:以质量分数计,硫酸铜10%、复合盐15%、氧化剂110%、电镀铜添加剂1%。
4.根据权利要求3所述的用于处理铜表面的微蚀液,其特征在于:所述用于处理铜表面的微蚀液的温度为37℃。
5.根据权利要求4所述的用于处理铜表面的微蚀液,其特征在于:所述用于处理铜表面的微蚀液通过浸泡应用,浸泡时间为45s。
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