[发明专利]压电复合材料、压电复合薄膜及其制备方法和压电器件在审
申请号: | 202010552358.0 | 申请日: | 2020-06-17 |
公开(公告)号: | CN111697124A | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 向远方 | 申请(专利权)人: | 欧菲微电子技术有限公司 |
主分类号: | H01L41/18 | 分类号: | H01L41/18;H01L41/37;H01L41/257 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 侯武娇 |
地址: | 330200 江西省南昌市南昌*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 复合材料 复合 薄膜 及其 制备 方法 器件 | ||
1.一种压电复合材料,其特征在于,包括有机聚合物基体、无机压电陶瓷材料及分子铁电材料,所述分子铁电材料选自TMCM-MnCl3、TMCM-CdCl3及(TMFM)x(TMCM)1–xCdCl3中的至少一种,其中0≤x≤1,所述无机压电陶瓷材料及所述分子铁电材料分布于所述有机聚合物基体中;
在所述有机聚合物基体及所述无机压电陶瓷材料的总量中,所述无机压电陶瓷材料的质量含量为50%~80%;在所述有机聚合物基体、所述无机压电陶瓷材料和所述分子铁电材料的总量中,所述分子铁电材料的质量含量为1%~15%。
2.如权利要求1所述的压电复合材料,其特征在于,在所述有机聚合物基体及所述无机压电陶瓷材料的总量中,所述无机压电陶瓷材料的质量含量为60%~80%;在所述有机聚合物基体、所述无机压电陶瓷材料和所述分子铁电材料的总量中,所述分子铁电材料的质量含量为1%~10%。
3.如权利要求1至2任一项所述的压电复合材料,其特征在于,所述无机压电陶瓷材料选自锆钛酸铅、钛酸铅及钛酸钡中的至少一种。
4.如权利要求1至2任一项所述的压电复合材料,其特征在于,所述有机聚合物基体选自聚偏二氟乙烯-三氟乙烯共聚物、聚偏二氟乙烯、聚乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯及聚二甲基硅氧烷中的至少一种。
5.如权利要求1至2任一项所述的压电复合材料,其特征在于,所述分子铁电材料为(TMFM)x(TMCM)1–xCdCl3,其中0≤x≤1;所述有机聚合物基体为聚偏二氟乙烯-三氟乙烯共聚物;所述无机压电陶瓷材料为锆钛酸铅。
6.如权利要求1至5任一项所述的压电复合材料的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
将所述有机聚合物基体、所述无机压电陶瓷材料与所述分子铁电材料混合均匀。
7.如权利要求6所述的压电复合材料的制备方法,其特征在于,所述将所述有机聚合物基体、所述无机压电陶瓷材料与所述分子铁电材料混合均匀的步骤中,还包括加入有机溶剂混合以制备浆料的步骤。
8.如权利要求7所述的压电复合材料的制备方法,其特征在于,所述压电复合材料的制备方法还包括将所述浆料干燥成型的步骤。
9.如权利要求7或8所述的压电复合材料的制备方法,其特征在于,
所述制备浆料的步骤包括如下步骤:
将所述有机聚合物基体与所述有机溶剂混合,得到有机聚合物基体溶液;
在所述有机聚合物基体溶液中加入所述无机压电陶瓷材料、所述分子铁电材料混合均匀。
10.如权利要求9所述的压电复合材料的制备方法,其特征在于,所述有机聚合物基体溶液中所述有机聚合物基体的质量含量为10%~40%。
11.一种压电复合薄膜,其特征在于,采用如权利要求1至5任一项所述的压电复合材料经极化制得。
12.如权利要求1至5任一项所述的压电复合材料、或如权利要求11所述的压电复合薄膜在制备电子器件中的应用。
13.一种压电器件,其特征在于,包含如权利要求11所述的压电复合薄膜。
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