[发明专利]适用于高真空环境的惯性元件电信号传输结构及实现方法

权利要求书

1.一种适用于高真空环境的惯性元件电信号传输结构，其特征在于：包括电极盘、绝缘子引针部件和多个弹性触爪；

所述电极盘置于惯性元件真空腔内，在电极盘上沿圆周方向均布设置有多个电极接触区，每个电极接触区对应设置有一引针穿装孔；

所述绝缘子引针部件包括基座、多个陶瓷套和多个导电引针；所述基座为盘形状，安装于惯性元件外壳的端口，在基座上插装有排气管，使外壳内部形成真空腔；在基座上沿圆周方向均布设置有多个安装孔，多个陶瓷套一一插装固定于多个安装孔内，多个导电引针一一插装固定于多个陶瓷套内，多个导电引针的上端部与多个电极接触区上的引针穿装孔形成一一穿装配合；

所述弹性触爪由铍青铜材制成，由套体部分及与套体部分下端一体连接的至少一个触爪部分构成，在套体部分上设置有半圆切口；所述多个弹性触爪一一套装在多个导电引针上位 于引针穿装孔的上方位置；其中套体部分与导电引针焊接连接，触爪部分以弹性变形的方式与对应电极接触区的电极面压紧接触，使电极盘与绝缘子引针部件形成固定连接。

2.根据权利要求1所述的适用于高真空环境的惯性元件电信号传输结构，其特征在于：所述弹性触爪由铍青铜管加工制成，铍青铜管的上端部制有半圆切口；铍青铜管的下端部沿圆周方向设置有七个开槽，形成八个触爪，八个触爪经拉伸和折弯呈花瓣球面形。

3.一种实现权利要求1或2所述的适用于高真空环境的惯性元件电信号传输结构的实现方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1 首选将陶瓷套、导电引针、基座用真空钎焊的形式密封焊接在一起，形成绝缘子引针部件，其中导电引针在真空腔内一侧留长为 20mm-30mm；用胎具固定绝缘子引针部件；

S2 然后将电极盘与绝缘子引针部件组装，使多个导电引针在真空腔内一侧的预留端一一穿过电极盘上的引针穿装孔，在合适的距离用胎具限定电极盘位置；

S3 然后将弹性触爪一一套装在导电引针的上端部，弹性触爪的孔与引针间隙不大于0.05mm，用力下压弹性触爪，使弹性触爪产生弹性变形，用电阻焊将导电引针与弹性触爪上端点焊固定，完成电极固定和触点连接；

S4 最后将组装在一起的绝缘子引针部件、电极盘及弹性触爪安装到惯性元件外壳上即可。

4.根据权利要求3所述的适用于高真空环境的惯性元件电信号传输结构的实现方法，其特征在于：S1 中组装形成的绝缘子引针部件的漏率优于 1×10^{- 12}Pa m³/s。

5. 根据权利要求3所述的适用于高真空环境的惯性元件电信号传输结构的实现方法，其特征在于：S3 中弹性触爪的弹性变形量为 0.1mm-0.2mm。