[发明专利]陀螺仪和电子设备

权利要求书

1.一种陀螺仪，其特征在于，包括：衬底、第一外框架以及分别与所述第一外框架相连的驱动结构和检测结构；

所述驱动结构位于所述第一外框架内，所述驱动结构包括相对于所述第一外框架的中心轴对称的两部分，所述检测结构包括位于所述第一外框架两侧的两部分；所述驱动结构和所述检测结构均与所述衬底相连；

所述检测结构位于所述第一外框架两侧的两部分中的每一部分均包括至少一个子检测结构，每个所述子检测结构包括：检测电极和第二外框架；所述第二外框架与所述第一外框架固定连接；

所述检测电极上具有多个固定检测梳齿，所述第二外框架的内边缘具有多个活动检测梳齿，多个所述固定检测梳齿背离所述检测电极的一端和多个所述活动检测梳齿背离所述第二外框架的内边缘的一端悬空，以使多个所述固定检测梳齿和多个所述活动检测梳齿相互交错形成检测电容。

2.根据权利要求1所述的陀螺仪，其特征在于，所述检测结构沿着第一方向位于所述第一外框架的两侧，所述第一方向与所述中心轴的延伸方向垂直；或者，

所述检测结构沿着第二方向位于所述第一外框架的两侧，所述第二方向与所述中心轴的延伸方向平行。

3.根据权利要求2所述的陀螺仪，其特征在于，所述检测电极的一端与所述衬底电连接，所述检测电极的另一端悬空。

4.根据权利要求1所述的陀螺仪，其特征在于，多个所述固定检测梳齿和多个所述活动检测梳齿均间隔排布。

5.根据权利要求1-4任一项所述的陀螺仪，其特征在于，所述检测电极包括：主检测电极和多个支检测电极，多个所述支检测电极分别位于所述主检测电极的两侧，所述主检测电极的一端与所述衬底相连，所述主检测电极的另一端悬空；

每个所述支检测电极的一端与所述主检测电极电连接，每个所述支检测电极的另一端靠近所述第二外框架的内边缘；

且多个所述固定检测梳齿位于所述支检测电极上。

6.根据权利要求5所述的陀螺仪，其特征在于，所述第二外框架上具有多个朝向所述主检测电极延伸的延伸部，所述延伸部的延伸方向与所述支检测电极平行；所述延伸部的一端与所述第二外框架相连，所述延伸部的另一端靠近所述主检测电极；

且多个所述活动检测梳齿位于所述延伸部上。

7.根据权利要求1-4、6任一所述的陀螺仪，其特征在于，每个所述子检测结构还包括：反馈电极，所述反馈电极的一端与所述衬底电连接，所述反馈电极的另一端悬空。

8.根据权利要求7所述的陀螺仪，其特征在于，所述反馈电极上还具有多个固定反馈梳齿，所述第二外框架的内边缘还具有多个活动反馈梳齿；多个所述固定反馈梳齿背离所述反馈电极的一端和多个所述活动反馈梳齿背离所述第二外框架的内边缘的一端悬空，以使多个所述固定反馈梳齿和多个所述活动反馈梳齿相互交错形成反馈电容。

9.根据权利要求8所述的陀螺仪，其特征在于，多个所述活动反馈梳齿和多个所述固定反馈梳齿的排布方向与多个所述活动检测梳齿或多个所述固定检测梳齿的排布方向相同。

10.根据权利要求8-9任一所述的陀螺仪，其特征在于，位于所述第一外框架两侧的两个所述子检测结构中的所述反馈电容接入的反馈信号的极性相反；

位于所述第一外框架同侧的相邻两个所述子检测结构中的所述反馈电容接入的反馈信号的极性相反。

11.根据权利要求1-4、6、8-9任一所述的陀螺仪，其特征在于，所述驱动结构位于所述第一外框架内且相对所述第一外框架的中心轴对称设置，所述驱动结构与所述中心轴平行的外边缘与所述第一外框架的内边缘部分相连。

12.根据权利要求1-4、6、8-9任一所述的陀螺仪，其特征在于，所述驱动结构的部分外边缘通过驱动梁与所述第一外框架的内边缘相连。