[发明专利]一种用于扫描电镜观察背散射电子像的装置和方法

权利要求书

1.一种用于扫描电镜观察背散射电子像的装置，其特征在于，该装置由高角度样品预倾斜放置面和背散射电子反射板组成。

2.如权利要求1所述的用于扫描电镜观察背散射电子像的装置，其特征在于，使样品高角度倾斜，扫描电镜电子束高角度入射样品。

3.如权利要求1所述的用于扫描电镜观察背散射电子像的装置，其特征在于，所述样品朝向扫描电镜样品室内E.T.检测器，并保证从样品出射的背散射电子高角度入射反射板和经反射板反射的背散射电子进入E.T.检测器。

4.如权利要求1所述的用于扫描电镜观察背散射电子像的装置，其特征在于，多次或多方位使用高角度入射背散射电子反射板，以提高背散射电子的接收效率。

5.如权利要求1所述的用于扫描电镜观察背散射电子像的装置的测量方法，其特征在于，合理选择样品和反射板的位置和方向可以得到收集背散射电子最大的检测效率。

6.如权利要求1所述的用于扫描电镜观察背散射电子像的装置的测量方法，其特征在于，在扫描电镜样品室内E.T.检测器成像模式下实施，测试中关闭E.T.检测器的闪烁体高压，接收背散射电子像。

7.如权利要求1所述的用于扫描电镜观察背散射电子像的装置的测量方法，其特征在于，E.T.检测器收集偏压选择负偏压一50V～一100V时，只收集检测背散射电子成像，E.T.检测器收集偏压选择负偏压一50V～一100V到正偏压+250V～+300V之间的任意偏压时，可得到背散射电子与二次电子不同比例的混合像。