[发明专利]一种应用于探针台的电荷排布装置

权利要求书

1.一种应用于探针台的电荷排布装置，其电荷排布装置(1)设置在探针台底座(2)上的位移组件(3)与显微镜(4)之间，其特征在于：包括通过连接板(11)固定在探针平台(12)上且左右两侧均开设有定位通孔的密封顶盖(13)、设置在所述探针平台(12)上的保护层(14)、设置在探针平台(12)与所述保护层(14)之间的绝缘层(15)、固定在探针平台(12)左右两侧的侧板(16)、固定在探针平台(12)前后两端的前板(17)和后板(18)、通过支撑垫块(19)固定在探针台底座(2)上的支撑骨架(20)、卡设在所述支撑骨架(20)上的滑动底板组件(21)；探针台的载物台(6)穿过所述滑动底板组件(21)转动连接在探针台的位移组件(3)上。

2.根据权利要求1所述的一种应用于探针台的电荷排布装置，其特征在于：所述前板(17)上设置有门组件(171)；所述门组件(171)包括铰接在所述前板(17)上的下门板(1711)、固定安装在所述下门板(1711)上的上门板(1712)、设置在所述上门板(1712)上的把手(1713)；所述上门板(1712)的形状、尺寸与探针平台(12)上的缺口相适配。

3.根据权利要求1所述的一种应用于探针台的电荷排布装置，其特征在于：所述滑动底板组件(21)为由4块开孔层板(211)相互滑动连接的开孔层板(211)结构。

4.根据权利要求1所述的一种应用于探针台的电荷排布装置，其特征在于：所述保护层(14)和所述绝缘层(15)之间、所述绝缘层(15)与探针平台(12)之间均通过绝缘螺丝固定，所述保护层(14)和所述绝缘层(15)的尺寸小于探针平台(12)的尺寸。

5.根据权利要求1所述的一种应用于探针台的电荷排布装置，其特征在于：所述载物台(6)包括表层(61)、中间层(62)和底层(63)；所述表层(61)、中间层(62)及底层(63)之间均设置有隔离层(64)；所述载物台(6)的表层(61)用于放置待测物，所述保护层(14)与所述中间层(62)通过三轴线缆(23)连接到测试仪表上，用来保证所述保护层(14)、中间层(62)均排布有和所述表层(61)等电势的电荷。

6.根据权利要求5所述的一种应用于探针台的电荷排布装置，其特征在于：所述支撑骨架(20)上开设有用来安装所述三轴线缆(23)的线孔。

7.根据权利要求5所述的一种应用于探针台的电荷排布装置，其特征在于：所述绝缘层(15)和所述隔离层(64)均采用绝缘材料。

8.根据权利要求1所述的一种应用于探针台的电荷排布装置，其特征在于：还包括设置在探针平台(12)上的隔热气环(24)，所述隔热气环(24)为四个。

9.根据权利要求1所述的一种应用于探针台的电荷排布装置，其特征在于：所述密封顶盖(13)通过螺栓固定在所述连接板(11)上，所述密封顶盖(13)为圆形或多边形。

10.根据权利要求1所述的一种应用于探针台的电荷排布装置，其特征在于：所述密封顶盖(13)、侧板(16)、探针平台(12)、前板(17)、后板(18)、滑动底板组件(21)、支撑骨架(20)及保护层(14)均采用导电材料。