[发明专利]一种DI光刻机的LED光学系统在审
| 申请号： | 202010558092.0 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN111610697A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 王华;吴中海;陈志特;冯明瑞 | 申请（专利权）人： | 东莞科视自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231 | 代理人： | 成伟 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 di 光刻 led 光学系统 | ||
1.一种DI光刻机的LED光学系统，其特征在于，包括近紫外LED发光源模组、聚光镜头、光刻模组和成像镜头，所述近紫外LED发光源模组、聚光镜头、光刻模组和成像镜头顺序连接；
所述近紫外LED发光源模组包括若干个近紫外LED发光源，每个所述近紫外LED发光源分别通过一所述聚光镜头与所述光刻模组连接，若干个所述近紫外LED发光源错开排列在所述光刻模组的两侧；
所述光刻模组包括若干个DMD光刻装置，若干个所述DMD光刻装置呈直线排列，所述DMD光刻装置的一端与所述成像镜头连接，另一端通过所述聚光镜头与所述近紫外LED发光源连接；
其中，所述近紫外LED发光源与DMD光刻装置所在直线与若干个所述DMD光刻装置所在直线之间的夹角小于90度；所述近紫外LED发光源内置有若干个近紫外LED发光体。
2.根据权利要求1所述的DI光刻机的LED光学系统，其特征在于，所述成像镜头的轴线垂直于曝光平面。
3.根据权利要求1所述的DI光刻机的LED光学系统，其特征在于，所述近紫外LED发光源还包括外壳和控制接口，若干个所述近紫外LED发光体均匀分布在所述外壳内，所述控制接口与所述近紫外LED发光体连接；所述外壳的一侧开设有紫外光输出口，所述近紫外LED发光体和控制接口均设置在所述外壳的另一侧；所述紫外光输出口与所述聚光镜头连接。
4.根据权利要求3所述的DI光刻机的LED光学系统，其特征在于，所述近紫外LED发光源还包括用于与冷却装置连接的冷却接口，所述冷却接口设置在所述控制接口一侧，并与所述近紫外LED发光体连接。
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