[发明专利]一种ICT夹具探针弹力检测装备

权利要求书

1.一种ICT夹具探针弹力检测装备，包括龙门三轴模组(1)、ICT夹具(2)、探针本体(3)、视觉模组(4)、压头模组(5)和固定架(6)，其特征在于：所述龙门三轴模组(1)的底部固定设置有用于放置探针本体(3)的ICT夹具(2)，所述龙门三轴模组(1)的一侧固定设置有用于拍照寻找MARK点定位的视觉模组(4)，所述视觉模组(4)的底部固定设置有用于对探针本体(3)进行弹力测试的压头模组(5)；

所述视觉模组(4)包括Z轴固定板(41)、相机本体(42)、镜头(43)、光源本体(44)、光源固定块(45)和相机固定块(46)，所述龙门三轴模组(1)的一侧固定设置有Z轴固定板(41)，所述Z轴固定板(41)的一侧固定设置有用拍照寻找MARK点定位的相机本体(42)，所述相机本体(42)的底部固定设置有镜头(43)，所述镜头(43)的顶部固定设置有补光的光源本体(44)；

所述压头模组(5)包括压头调节块(51)、压头连接块(52)、压力传感器(53)、压头固定块(54)和探针压头(55)，所述Z轴固定板(41)的一侧固定设置有用于连接压力传感器(53)的压头连接块(52)，所述压头连接块(52)的内部固定设置有用于精准测试探针本体(3)弹力数值的压力传感器(53)，所述压头连接块(52)的的底部固定设置有用于抵触探针本体(3)进行弹力测试的探针压头(55)。

2.根据权利要求1所述的一种ICT夹具探针弹力检测装备，其特征在于：所述固定架(6)的顶部固定设置有用于驱动视觉模组(4)和压头模组(5)进行移动的龙门三轴模组(1)。

3.根据权利要求1所述的一种ICT夹具探针弹力检测装备，其特征在于：所述相机本体(42)的一侧固定设置有相机固定块(46)，所述相机固定块(46)远离相机本体(42)的一侧固定设置有用于调节相机本体(42)位置的相机调节块(47)。

4.根据权利要求3所述的一种ICT夹具探针弹力检测装备，其特征在于：所述相机调节块(47)固定设置于Z轴固定板(41)的右侧面。

5.根据权利要求1所述的一种ICT夹具探针弹力检测装备，其特征在于：所述镜头(43)的一侧固定设置有光源固定块(45)，所述光源固定块(45)呈L形，所述光源本体(44)固定设置于光源固定块(45)的底部。

6.根据权利要求1所述的一种ICT夹具探针弹力检测装备，其特征在于：所述压头连接块(52)的顶部固定设置有用于调节探针压头(55)位置的压头调节块(51)，所述压头调节块(51)呈L形。

7.根据权利要求1所述的一种ICT夹具探针弹力检测装备，其特征在于：所述压头调节块(51)固定设置于Z轴固定板(41)的右侧面，所述压头调节块(51)位于相机调节块(47)的下方。

8.根据权利要求1所述的一种ICT夹具探针弹力检测装备，其特征在于：所述压头连接块(52)的的底部固定设置有压头固定块(54)，所述探针压头(55)固定设置于压头固定块(54)的底部。

9.根据权利要求1所述的一种ICT夹具探针弹力检测装备，其特征在于：所述相机本体(42)和镜头(43)呈同轴设置，所述光源本体(44)的内部开设有与镜头(43)呈同轴设置的通孔。

10.根据权利要求1所述的一种ICT夹具探针弹力检测装备，其特征在于：所述Z轴固定板(41)、镜头(43)和探针压头(55)均垂直于ICT夹具(2)的上方。