[发明专利]闸阀中的阀板相对于阀杆的安装构造及具有该构造的闸阀

说明书

本发明提供闸阀中的阀板相对于阀杆的安装构造及具有该构造的闸阀，通过将阀板高精度且可靠地固定于阀杆，防止闸阀动作时的颗粒的产生。使具有楔形状的平板部(36)及卡合突部(37)的间隔构件(30)夹设在阀板(3)的安装孔(13)的孔端壁面(13d)与阀杆(4)的安装部(14)的杆顶端面(15)之间，在间隔构件与孔端壁面之间形成向前方开口的楔形状的空隙(G2)，通过阀板固定螺钉(20)的紧固力，产生使阀板在缩窄空隙(G2)的方向上变形的力矩(M)，使间隔构件的卡合突部压入形成在杆顶端面的倾斜面部(15b)与安装孔的孔后壁面(13b)之间的楔形状的间隙中，由此，使阀板的安装孔的孔前壁面(13a)与阀杆的安装部的杆前壁面(14a)压接。

技术领域

本发明涉及用于将闸阀的阀板安装于阀杆的顶端的安装构造、及具有这样的阀板的安装构造的闸阀。

背景技术

在半导体处理装置中，为了对通向真空腔室的开口进行开闭而使用闸阀。该闸阀构成为，将安装在阀杆的顶端的阀板收容于阀箱内，将该阀箱安装于真空腔室，利用上述阀板对形成于该阀箱的侧壁的上述开口进行开闭。此时，上述开口的封闭通过将安装于上述阀板的密封构件按压于上述开口的周围的阀座来进行。

例如，专利文献1的闸阀为了改善其维护性，通过使上述阀箱的上部壁能够装拆，并且将上述阀板相对于阀杆的上端用螺钉在轴线方向上固定，能够通过来自上述阀箱的外部的操作将上述阀板从阀杆卸下。而且，在该闸阀中，上述阀板以能绕轴旋转的方式安装于阀杆，在该阀板按压于阀座时，通过该阀板沿着上述阀座而旋转，能够将该阀板的密封面(密封构件)相对于阀座均匀地按压。

另外，近年来，随着半导体的小型化和高性能化，半导体的线宽的微细化逐渐发展，因此，强烈要求减少半导体的处理工序时产生的颗粒以尽可能使其接近于零。

可是，上述专利文献1所公开的闸阀在该阀动作时，由于在上述阀杆与阀板之间、上述阀板与阀座之间产生摩擦，因此具有因该摩擦而容易产生颗粒这样的问题点。因此，为了不产生这样的颗粒，将上述阀板相对于上述阀杆高精度且可靠地固定是必不可少的。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-291221号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的技术课题在于，通过将阀板高精度且可靠地固定于阀杆，防止闸阀动作时的颗粒的产生。

用于解决课题的技术方案

为了解决上述课题，本发明是一种闸阀中的阀板相对于阀杆的安装构造，该闸阀构成为将安装于沿上下方向延伸的阀杆的顶端的阀板收容于阀箱内，并利用所述阀板对形成于该阀箱的侧壁的闸开口进行开闭，所述安装构造是所述闸阀中的、阀板相对于所述阀杆的安装构造，其特征在于，所述阀板具有：阀前表面，安装有与所述闸开口周围的阀座接触或分离的密封构件；阀背面，位于与该阀前表面的相反侧；阀上表面及阀下表面；安装孔，开设在该阀下表面，供所述阀杆的顶端的安装部插入；以及螺钉插通孔，贯穿设置在所述阀上表面与该安装孔之间，供阀板固定螺钉插通，利用该阀板固定螺钉将所述阀板相对于所述阀杆安装，所述安装孔具有位于所述阀前面侧的孔前壁面、位于所述阀背面侧的孔后壁面、以及作为该安装孔的深度方向的端面的孔端壁面，所述螺钉插通孔在该孔端壁面开口，所述阀杆的安装部具有与所述安装孔的孔前壁面相向的杆前壁面、与所述安装孔的孔后壁面相向的杆后壁面、以及位于该安装孔的顶端的杆顶端面，在该杆顶端面开设有使插通于所述阀板的螺钉插通孔的所述阀板固定螺钉螺合并拧紧的螺纹孔，在将所述阀杆的安装部相对于所述阀板的安装孔插入到所述杆顶端面抵接的终端，且所述阀板固定螺钉未与所述螺纹孔螺合的状态下，在由该安装孔的孔端壁面与阀杆的杆顶端面夹着的部分，形成有向所述安装部的杆前壁面侧开口，并且在比所述螺纹孔的中心轴靠杆后壁面侧的位置封闭的水平方向的空隙，由此，通过使所述阀板固定螺钉与所述螺纹孔螺合并拧紧，该阀板的孔前壁面被压接于该阀杆的杆前壁面。