[发明专利]折射率传感装置及测量方法有效
申请号: | 202010564044.2 | 申请日: | 2020-06-19 |
公开(公告)号: | CN111678892B | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 谈宜东;代宗仁 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G01N21/552 | 分类号: | G01N21/552;G01N21/01 |
代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人: | 魏朋 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 折射率 传感 装置 测量方法 | ||
1.一种折射率传感装置,其特征在于,包括:
激光发射装置(100),用于发射激光光束;
第一声光移频器(110),用于将所述激光光束移频;
棱镜(120),与所述第一声光移频器(110)间隔设置,包括反射表面(121);
依次设置于所述反射表面(121)的材料层(130)和微流体通道(140),所述微流体通道(140)用于储存待测介质,所述激光光束射入所述棱镜(120)在所述反射表面(121)全反射,并在所述反射表面(121)与所述材料层(130)发生表面等离子共振;
第二声光移频器(160),与所述棱镜(120)间隔设置,用于将射出所述棱镜(120)的激光光束移频,所述第一声光移频器(110)和所述第二声光移频器(160)差分移频;
第一反射镜(180),与所述第二声光移频器(160)间隔设置,用于使经过所述第二声光移频器(160)射出的第一激光光束经原路径反射到所述激光发射装置(100);
偏振分光镜(150),与所述棱镜(120)和所述第二声光移频器(160)间隔设置,用于将射出所述棱镜(120)的激光光束分为所述第一激光光束和第二激光光束;
第三声光移频器(170),与所述偏振分光镜(150)间隔设置,用于对所述第二激光光束移频,所述第一声光移频器(110)和所述第三声光移频器(170)差分移频;
第二反射镜(190),与所述第三声光移频器(170)间隔设置,用于使经过所述第三声光移频器(170)射出的所述第二激光光束经原路径反射到所述激光发射装置(100),所述第一激光光束和所述第二激光光束与所述激光发射装置(100)内的原光场发生干涉效应,调制所述激光发射装置的输出功率,并通过所述激光发射装置(100)输出调制光束;
处理装置(200),用于通过所调制光束得到所述待测介质的折射率信息。
2.如权利要求1所述的折射率传感装置,其特征在于,所述微流体通道(140)的周围与所述棱镜(120)贴合。
3.如权利要求1所述的折射率传感装置,其特征在于,还包括分光镜(210),设置于所述激光发射装置(100)和所述第一声光移频器(110)之间,用于将所述激光发射装置(100)射出的调制光束反射到所述处理装置(200)。
4.如权利要求3所述的折射率传感装置,其特征在于,还包括准直装置(220),设置于所述激光发射装置(100)和所述分光镜(210)之间,用于将从所述激光发射装置(100)射出的激光准直。
5.如权利要求4所述的折射率传感装置,其特征在于,还包括四分之一波片(230),设置于所述第一声光移频器(110)和所述棱镜(120)之间,用于将从第一声光移频器(110)射出的所述激光光束偏振态从线偏振变为圆偏振。
6.如权利要求5所述的折射率传感装置,其特征在于,还包括:
第三反射镜(240),设置于所述四分之一波片(230)和所述棱镜(120)之间,用于将从所述四分之一波片(230)射出的所述激光光束反射至所述棱镜(120)。
7.如权利要求2所述的折射率传感装置,其特征在于,还包括:
第四反射镜(250),设置于所述偏振分光镜(150)和所述棱镜(120)之间,用于将从所述棱镜(120)射出的所述激光光束反射至所述偏振分光镜(150)。
8.如权利要求2所述的折射率传感装置,其特征在于,所述材料层(130)包括二维材料或者金属材料。
9.如权利要求2所述的折射率传感装置,其特征在于,所述棱镜(120)为等腰直角棱镜或半球棱镜,所述反射表面(121)为所述等腰直角棱镜的斜面或所述半球棱镜的平面。
10.如权利要求2所述的折射率传感装置,其特征在于,所述微流体通道(140)为聚二甲基硅氧烷材料。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学,未经清华大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010564044.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。