[发明专利]薄膜生长样品托

说明书

本申请提供了一种薄膜生长样品托，包括托盘和安装于托盘上的压片，压片上开设有第一通孔，第一通孔中安装有载物圆片。第一通孔远离托盘一端的直径小于2.8mm，第一通孔靠近托盘一端的直径大于或者等于3.2mm，载物圆片的直径范围为2.8mm‑3.2mm。通过在压片上开设第一通孔，第一通孔可供载物圆片伸入并对其固定。在通过分子束外延技术进行薄膜生长时，载物圆片上可形成直径约为3mm的薄膜。由于载物圆片的直径满足透射电子显微镜的样品杆所需样品的尺寸要求，可直接将载有薄膜的载物圆片放入透射电子显微镜的样品杆中，方便对薄膜的观察，可解决厘米级的基底无法直接放入透射电子显微镜的样品杆中而对薄膜进行观察的问题。

技术领域

本申请属于半导体制备技术领域，更具体地说，是涉及一种薄膜生长样品托。

背景技术

分子束外延(Molecular Beam Epitaxy，MBE)技术是一种很好的生长单晶薄膜的方法。将生长的物质放入蒸发源中，通过加热、通电或激光照射等方法使蒸发源中的分子或原子变成气体进入生长室并入射到基底上，然后在基底上沉积并形成薄膜；控制基底的温度可以控制薄膜的外延生长速度及生长情况。为了将基底放入生长室中，需要借助样品托对基底进行支撑。

为了观察薄膜的生长情况，通常是采用透射电子显微镜(TransmissionElectronMicroscope，TEM)。受TEM样品杆的限制，目前适用于MBE的样品托仅适用于厘米级的基底，而厘米级的基底无法直接放入TEM的样品杆中，从而导致无法通过TEM对薄膜进行观察。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种薄膜生长样品托，以解决相关技术中存在的分子束外延使用的样品托仅适用于厘米级的基底，而厘米级的基底无法直接放入TEM的样品杆中，从而导致无法通过TEM对薄膜进行观察的问题。

为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是：

提供一种薄膜生长样品托，包括：

托盘；

压片，安装于所述托盘上，所述压片上开设有第一通孔；

载物圆片，设于所述第一通孔中，用于承托薄膜的生长；

其中，所述第一通孔远离所述托盘一端的直径小于2.8mm，所述第一通孔靠近所述托盘一端的直径大于或者等于3.2mm，所述载物圆片的直径范围为2.8mm-3.2mm。

在一个实施例中，所述第一通孔的直径由所述压片朝所述托盘的方向逐渐增大。

在一个实施例中，所述第一通孔的内周面为第一斜面，所述载物圆片的外周面为与所述第一斜面配合的第二斜面。

在另一个实施例中，所述第一通孔包括第一过孔和与所述第一过孔同轴设置的第二过孔，所述第一过孔与所述第二过孔连通，所述第一过孔的直径大于所述第二过孔的直径，所述第一过孔与所述第二过孔之间形成支撑所述载物圆片的第一台阶面。

在一个实施例中，所述托盘上开设有第二通孔，所述压片上对应开设有第三通孔，所述第三通孔与所述第一通孔间隔设置。

在一个实施例中，所述第二通孔包括第三过孔和与所述第三过孔同轴设置的第四过孔，所述第三过孔与所述第四过孔连通，所述第三过孔的直径大于所述第四过孔的直径，所述第三过孔与所述第四过孔之间形成第二台阶面。

在一个实施例中，所述第二通孔的截面积大于所述第三通孔的截面积。

在一个实施例中，所述托盘上开设有多个第一安装孔，所述压片上对应于各所述第一安装孔的位置开设有第二安装孔；所述第二通孔与各所述第一安装孔间隔设置，所述第一通孔与各所述第二安装孔间隔设置，所述第三通孔与各所述第二安装孔间隔设置。

在一个实施例中，所述载物圆片的直径为3mm。