[发明专利]图像感测装置在审

专利信息
申请号: 202010564536.1 申请日: 2020-06-19
公开(公告)号: CN112992940A 公开(公告)日: 2021-06-18
发明(设计)人: 郭镐映 申请(专利权)人: 爱思开海力士有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 刘久亮;黄纶伟
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 图像 装置
【权利要求书】:

1.一种图像感测装置,该图像感测装置包括:

半导体基板,所述半导体基板被配置为响应于入射的光而产生电荷载流子;

多个控制区,所述多个控制区由所述半导体基板支撑并且被配置为在所述半导体基板中引起多数载流子电流以控制少数载流子的移动;以及

多个检测区,所述多个检测区形成为与所述控制区相邻并且被配置为捕获在所述半导体基板中移动的所述少数载流子,

其中,所述多个控制区中的每个包括上部、下部和设置在所述上部和所述下部之间的中间部,并且

其中,所述中间部比所述上部和所述下部中的每个具有更小的水平截面轮廓。

2.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,所述中间部的宽度是所述下部的宽度的一半。

3.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,所述多个检测区中的每个在垂直截面结构上与所述多个控制区中的每个相同。

4.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,每个检测区的内表面的垂直截面轮廓与每个检测区的外表面的垂直截面轮廓不同。

5.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,所述多个控制区包括第一类型的杂质,并且包括彼此间隔开预定距离的第一控制区和第二控制区。

6.根据权利要求5所述的图像感测装置,其中,所述多个检测区包括:特性与所述第一类型的杂质相反的第二类型的杂质以及围绕所述第一控制区的第一检测区和围绕所述第二控制区的第二检测区。

7.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,所述控制区和所述检测区通过器件隔离膜彼此隔离。

8.一种图像感测装置,该图像感测装置包括:

半导体基板;

像素阵列,所述像素阵列由所述半导体基板支撑并且被构造为包括以行和列连续布置的多个单位像素,所述单位像素被构造为通过入射光的光电转换来产生载流子并检测所产生的载流子中的少数载流子,

其中,所述单位像素包括:

第一控制区和第二控制区,所述第一控制区和所述第二控制区被配置为在所述半导体基板中产生一定方向的多数载流子电流,以使所述少数载流子在所述半导体基板中沿与所述多数载流子电流相反的方向移动;以及

第一检测区和第二检测区,所述第一检测区和所述第二检测区被配置为捕获通过所述多数载流子电流在所述半导体基板中移动的所述少数载流子,并且

其中,所述第一控制区和所述第二控制区中的每个包括具有相同的水平截面轮廓的上部和下部,以及设置在所述上部和所述下部之间的中间部,所述中间部具有尺寸与所述上部和所述下部中的每个的尺寸不同的水平截面轮廓。

9.根据权利要求8所述的图像感测装置,其中,所述中间部的宽度是所述上部和所述下部中的每个的宽度的一半。

10.根据权利要求8所述的图像感测装置,其中,所述第一检测区和所述第二检测区在垂直截面结构上与所述第一控制区和所述第二控制区相同。

11.根据权利要求8所述的图像感测装置,其中,所述第一检测区和所述第二检测区中的每个的内表面的垂直截面轮廓不同于所述第一检测区和所述第二检测区中的每个的外表面的垂直截面轮廓。

12.根据权利要求8所述的图像感测装置,其中,所述第一控制区和所述第二控制区包括第一类型的杂质,并且其中,所述第一控制区和所述第二控制区彼此间隔开预定距离。

13.根据权利要求12所述的图像感测装置,其中:

所述第一检测区和所述第二检测区包括特性与所述第一类型的杂质相反的第二类型的杂质;

所述第一检测区形成为围绕所述第一控制区,并且所述第二检测区形成为围绕所述第二控制区。

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