[发明专利]翻转装置

说明书

本申请实施例提供了一种翻转装置，用于对半导体设备中的基板进行夹持翻转，其包括：装置框架、第一工作台、第二工作台及驱动机构；装置框架内具有容置空间；第一工作台设置于容置空间内，且与装置框架固定设置，第一工作台用于承载基板；第二工作台设置于容置空间内，且与第一工作台相对，第二工作台可相对第一工作台运动以将基板夹持于二者之间；驱动机构与装置框架传动连接，用于驱动装置框架旋转，以带动第一工作台、第二工作台以及夹持在二者之间的基板翻转。本申请实施例实现了基板翻转过程平稳，且确保基板不会脱落以及发生位移，从而提高安全性及产品良率。

技术领域

本申请涉及半导体加工技术领域，具体而言，本申请涉及一种翻转装置。

背景技术

目前，随着科技的发展柔性显示屏时代已经到来，相比与传统的刚性显示屏，柔性显示屏不仅体积轻薄可实现弯曲和折叠，而且功耗较低。但是相对于刚性显示屏来说，它的生产工艺更为复杂。在柔性显示屏生产过程中，柔性基板存放在卡夹中，机械手将柔性基板从卡夹中取出放入半导体设备中进行工艺。由于某些工艺的特殊要求，在柔性基板进入半导体设备前需要对其进行180度翻转。

现有翻转机构主要适用于刚性显示屏的刚性基板，机械手将刚性基板传送至吸盘组件的上方，升降平台上升以将刚性基板顶起，以便于刚性基板与机械手分开，然后待机械手撤出后升降平台下降，刚性基板落到吸盘组件上。然后,对吸盘组件施加真空压力以将刚性基板吸附固定，由旋转组件带动吸盘组件转动使刚性基板完成180度翻转，升降平台再运动至刚性基板下方，接收完成翻转动作的刚性基板。现有技术中如果刚性基板翻转时真空气源出现故障，刚性基板则有脱落风险；另外,若刚性基板翻转速度快，会使刚性基板和吸盘组件发生位移。进一步的，升降平台在刚性基板翻转过程中需要下降至安全区域，待刚性基板完成翻转后再运动至刚性基板下方，不仅大幅降低工作效率，而且增加应用成本。

发明内容

本申请针对现有方式的缺点，提出一种翻转装置，用以解决现有技术中存在的基板在翻转过程易脱落、位移以及工作效率低且成本较高的技术问题。

本申请实施例提供了一种翻转装置，用于对半导体设备中的基板进行夹持翻转，包括：装置框架、第一工作台、第二工作台及驱动机构；所述装置框架内具有容置空间；所述第一工作台设置于所述容置空间内，且与所述装置框架固定设置，所述第一工作台用于承载所述基板；所述第二工作台设置于所述容置空间内，且与所述第一工作台相对，所述第二工作台可相对所述第一工作台运动以将所述基板夹持于二者之间；所述驱动机构与所述装置框架传动连接，用于驱动所述装置框架旋转，以带动所述第一工作台、所述第二工作台以及夹持在二者之间的所述基板翻转。

于本申请的一实施例中，所述翻转装置还包括伸缩机构，所述第二工作台通过所述伸缩机构设置于所述框架上，所述伸缩机构用于驱动所述第二工作台向所述第一工作台运动以夹持所述基板。

于本申请的一实施例中，所述第一工作台包括第一平台框架和设置在所述第一平台框架上的多个第一吸附组件，且多个所述第一吸附组件的第一吸附面平齐；所述第二工作台包括第二平台框架和设置在所述第二平台框架上的多个第二吸附组件，且多个所述第二吸附组件的第二吸附面平齐；所述第一吸附面与所述第二吸附面相对。

于本申请的一实施例中，所述第一吸附组件包括具有真空腔体的刚性吸附件和第一支撑杆，所述刚性吸附件通过所述第一支撑杆固定在所述第一平台框架上。

于本申请的一实施例中，所述第二吸附组件包括柔性真空吸盘和第二支撑杆，所述柔性真空吸盘通过所述第二支撑杆设置于所述第二平台框架上。

于本申请的一实施例中，所述伸缩机构包括固定板、连接板、导向杆及驱动源；所述固定板设置于所述装置框架上，所述连接板设置于所述第二工作台上，多个所述导向杆穿设于所述固定板上，并且一端与所述连接板固定连接，用于对所述第二工作台运动方向进行引导；所述驱动源设置于所述固定板上，用于通过所述连接板带动所述第二工作台运动。