[发明专利]麦克风和音频设备

权利要求书

1.一种麦克风，其特征在于，包括：衬底和位于所述衬底上方的振膜组件；所述振膜组件包括：

振动膜；

振膜梳齿，与所述振动膜连接；

固定梳齿组，包括分别与所述振膜梳齿形成梳齿气隙的两个固定梳齿，所述振膜梳齿在所述振动膜的带动下沿振动方向移动并分别与两个所述固定梳齿形成可变电容；

驱动片，分设于两个所述固定梳齿上，所述驱动片用于驱动两个所述固定梳齿分别在所述振动方向上做相反方向的位移。

2.如权利要求1所述的麦克风，其特征在于，所述固定梳齿包括连接所述衬底的固定部和多个与所述固定部连接的固定齿，所述驱动片设于所述固定部上。

3.如权利要求2所述的麦克风，其特征在于，所述振膜梳齿包括多个与所述振动膜连接的移动齿，相邻所述移动齿之间形成齿间隙，所述固定齿插入所述齿间隙，并与所述移动齿间隔设置形成所述梳齿气隙。

4.如权利要求1所述的麦克风，其特征在于，所述振动膜包括主体部和多个连接臂，多个所述连接臂连接所述衬底和所述主体部，所述主体部包括两相对设置的第一连接边和两相对设置的第二连接边；所述振膜梳齿与所述第一连接边连接，所述连接臂与两个所述第二连接边连接。

5.如权利要求4所述的麦克风，其特征在于，所述振膜梳齿和所述连接臂的数量为两个，两个所述振膜梳齿分别与两个所述第一连接边连接，两个所述连接臂分别与两个所述第二连接边连接，两个所述固定梳齿分别与两个所述振膜梳齿相对设置。

6.如权利要求1所述的麦克风，其特征在于，所述固定梳齿组的数量为多个，所述固定梳齿两两相对设置，相对设置的所述固定梳齿位于所述振动膜的相对两侧。

7.如权利要求6所述的麦克风，其特征在于，所述固定梳齿组的数量为两个，四个所述固定梳齿两两相对设置，并设于所述振动膜的相对两侧，所述驱动片用于驱动其中任意两个所述固定梳齿的位移方向和其余两个所述固定梳齿的位移方向相反。

8.如权利要求6所述的麦克风，其特征在于，所述振动膜包括主体部和多个连接臂，所述主体部包括多个外边；多个所述固定梳齿组的所述固定梳齿两两相对设置，所述固定梳齿分别与不同的所述外边相对设置，所述驱动片用于驱动其中任意个数的所述固定梳齿的位移方向和其余个数的所述固定梳齿的位移方向相反。

9.如权利要求1至8中任一项所述的麦克风，其特征在于，所述驱动片为压电模片或热驱动片。

10.一种音频设备，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的麦克风。