[发明专利]惯性传感器、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种惯性传感器，其特征在于，

在将彼此正交的三轴设为X轴、Y轴以及Z轴时，具有：

基板；

可动体，绕沿着所述Y轴的摇动轴摇动；以及

电极，配置于所述基板，在沿所述Z轴方向的俯视观察下，与所述可动体重叠，

所述可动体具有在沿所述Z轴方向的俯视观察下夹着所述摇动轴而设置的第一可动部以及第二可动部，

在沿所述Z轴方向的俯视观察下，所述第一可动部具有：对称部，设置为与所述第二可动部相对于所述摇动轴对称；非对称部，位于比所述对称部离所述摇动轴更远侧，且绕所述摇动轴的转矩比所述第二可动部大，

在沿所述Z轴方向的俯视观察下，所述电极具有：第一检测电极，设置为与所述第一可动部的所述对称部重叠；以及第一虚设电极，与所述可动体为同电位，且设置为在比所述第一检测电极离所述摇动轴更远侧处与所述第一可动部的所述对称部以及所述非对称部重叠，

在沿所述Z轴方向的俯视观察下，所述对称部具有：第一开口，设置于与所述第一检测电极重叠的第一部分；第二开口，设置于与所述第一虚设电极重叠的第二部分，

所述第一开口相对于所述第一部分的开口率比所述第二开口相对于所述第二部分的开口率小，

所述非对称部具有第五开口，

所述第五开口相对于所述非对称部的开口率比所述第二开口相对于所述第二部分的开口率小。

2.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，

在沿所述Z轴方向的俯视观察下，所述电极具有：第二检测电极，设置为与所述第二可动部重叠；以及第二虚设电极，与所述可动体为同电位，且设置为在比所述第二检测电极离所述摇动轴更远侧处与所述第二可动部重叠，

在沿所述Z轴方向的俯视观察下，所述第二可动部具有：第三开口，设置于与所述第二检测电极重叠的第三部分；以及第四开口，设置于与所述第二虚设电极重叠的第四部分，

所述第三开口相对于所述第三部分的开口率比所述第四开口相对于所述第四部分的开口率小。

3.根据权利要求2所述的惯性传感器，其特征在于，

所述第一开口以及所述第三开口设置为相对于所述摇动轴对称，

所述第二开口以及所述第四开口设置为相对于所述摇动轴对称。

4.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，

所述第五开口相对于所述非对称部的开口率比所述第一开口相对于所述第一部分的开口率小。

5.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，

所述非对称部与所述基板之间的分离距离比所述对称部与所述基板之间的分离距离大。

6.一种电子设备，其特征在于，具有：

权利要求1至5中任一项所述的惯性传感器；以及

控制电路，基于从所述惯性传感器输出的检测信号来进行控制。

7.一种移动体，其特征在于，具有：

权利要求1至5中任一项所述的惯性传感器；以及

控制电路，基于从所述惯性传感器输出的检测信号来进行控制。