[发明专利]阵列基板及阵列基板制作方法

说明书

本发明实施例属于显示设备技术领域，具体涉及一种阵列基板及阵列基板制作方法。本发明实施例旨在解决相关技术中栅线的厚度较大，容易导致与栅线正对的数据线断裂的技术问题。本发明实施例提供的阵列基板及阵列基板制作方法，栅线包括交叉区，交叉区在基底上的投影与数据线在基底上的投影交叉；交叉区包括沿垂直于基底方向依次设置多个台阶；在远离基底的方向上，多个台阶在基底上的投影面积逐渐减小；在形成栅极绝缘层后，每一台阶对应的栅极绝缘层上形成一个凸起；与交叉区未设置多个台阶相比，每一台阶沿垂直于基底方向的厚度较小，减小了段差，在栅极绝缘层上形成第二导电层时，每一台阶上的第二导电层不易发生脱离，进而避免了数据线断裂。

技术领域

本发明实施例涉及显示设备技术领域，尤其涉及一种阵列基板及阵列基板制作方法。

背景技术

随着显示技术的逐渐发展，液晶显示面板逐渐应用在电视、电脑等显示设备上；液晶显示面板包括层叠设置的阵列基板以及液晶层，阵列基板用于控制液晶层内的液晶分子偏转，以实现显示。

相关技术中，阵列基板包括基底以及在基底上层叠设置的第一导电层、栅极绝缘层以及第二导电层；栅极绝缘层位于第一导电层和第二导电层之间，且第一导电层靠近基底设置；第一导电层包括栅线以及与栅线连接的栅极，第二导电层包括数据线以及与数据线同层设置的源漏极，栅线和数据线的延伸方向垂直；栅极和源漏极之间还设置有半导体层，进而构成开关器件，以通过开关器件控制液晶分子偏转。

然而，为了减小栅线的电阻，以减小信号延迟，往往将第一导电层的厚度设置的较大，使得栅线的厚度较大，容易导致与栅线交叉覆盖的数据线断裂。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供一种阵列基板及阵列基板制作方法，以解决栅线的厚度较大，容易导致与栅线交叉覆盖的数据线断裂的技术问题。

本发明实施例提供了一种阵列基板，包括：基底、第一导电层以及第二导电层，所述第一导电层位于所述第二导电层和所述基底之间，所述第一导电层包括栅线，所述第二导电层包括数据线；所述栅线包括交叉区，所述交叉区在所述基底上投影与所述数据线在所述基底上的投影交叉，所述交叉区包括沿垂直于所述基底方向依次设置多个台阶；在远离所述基底的方向上，所述多个台阶在所述基底上的投影面积逐渐减小。

如上所述的阵列基板，其中，所述交叉区包括栅线第一台阶和栅线第二台阶，所述栅线第一台阶靠近所述基底设置。

如上所述的阵列基板，其中，所述栅线第二台阶在所述基底上的投影位于所述栅线第一台阶在所述基底上的投影的中部。

如上所述的阵列基板，其中，所述交叉区沿垂直于所述基底方向的厚度为所述栅线第一台阶沿垂直于所述基底方向的厚度为

如上所述的阵列基板，其中，所述交叉区沿垂直于所述基底方向的厚度为所述栅线第二台阶沿垂直于所述基底方向的厚度为

如上所述的阵列基板，其中，在所述第一导电层所在的平面内，所述栅线第一台阶沿垂直于所述栅线延伸方向的宽度大于所述交叉区外的所述栅线沿垂直于所述栅线延伸方向的宽度。

如上所述的阵列基板，其中，所述栅线与所述数据线垂直设置，所述栅线第一台阶沿所述栅线延伸方向的宽度大于所述数据线沿所述栅线延伸方向的宽度。

如上所述的阵列基板，其中，所述栅线第二台阶沿垂直于所述栅线延伸方向的宽度为3μm-30μm。

本发明实施例还提供一种阵列基板制作方法，

提供基底；

在所述基底上形成第一导电层；所述第一导电层包括预设区；

在所述预设区上形成间隔的第一减薄区和第二减薄区；