[发明专利]一种体声波谐振装置、一种滤波装置及一种射频前端装置

权利要求书

1.一种体声波谐振装置，其特征在于，包括：

第一层，所述第一层包括位于第一侧的第一空腔；

第一电极，所述第一电极的第一端位于所述第一空腔内，所述第一电极的第二端接触所述第一层；

第二层，位于所述第一侧，位于所述第一电极上；以及

第二电极，位于所述第二层上，所述第一电极和所述第二电极位于所述第二层两侧；

其中，所述第一电极上与所述第二电极重合的第一部分位于所述第一空腔内；

其中，所述第一电极包括第一电极层和第二电极层，所述第二电极层和所述第二层位于所述第一电极层的两侧；

其中，所述第二电极包括第三电极层和第四电极层，所述第二层和所述第四电极层位于所述第三电极层的两侧。

2.如权利要求1所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第一层还包括：中间层，所述中间层包括所述第一空腔。

3.如权利要求2所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述中间层的材料包括以下至少之一：聚合物、绝缘电介质、多晶硅。

4.如权利要求2所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述中间层的厚度包括：0.1微米至10微米。

5.如权利要求1所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第一层还包括：衬底层，所述衬底层包括所述第一空腔。

6.如权利要求5所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述衬底层的材料包括以下至少之一：聚合物、绝缘电介质、多晶硅。

7.如权利要求5所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述衬底层的厚度包括：20微米至100微米。

8.如权利要求1所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第一层还包括：第一基底，所述第一基底包括所述第一空腔。

9.如权利要求1所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第一层还包括位于所述第一侧的第一凹槽，所述第一凹槽位于所述第一空腔水平方向上的一侧并与所述第一空腔相通，所述第二端位于所述第一凹槽内。

10.如权利要求1所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第二层包括：压电层，所述压电层包括多个晶粒，所述多个晶粒包括第一晶粒和第二晶粒，其中，所述第一晶粒和所述第二晶粒是所述多个晶粒中的任意两个晶粒；沿第一方向的第一坐标轴对应所述第一晶粒的高，沿第二方向的第二坐标轴对应所述第二晶粒的高，其中，所述第一方向和所述第二方向相同或相反。

11.如权利要求10所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第一晶粒对应第一坐标系，所述第一坐标系包括所述第一坐标轴和沿第三方向的第三坐标轴；所述第二晶粒对应第二坐标系，所述第二坐标系包括所述第二坐标轴和沿第四方向的第四坐标轴。

12.如权利要求11所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第一坐标系还包括沿第五方向的第五坐标轴，所述第二坐标系还包括沿第六方向的第六坐标轴。

13.如权利要求12所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第三方向和所述第四方向相同或相反。

14.如权利要求10所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述压电层的材料包括以下至少之一：氮化铝、氧化铝合金、氮化镓、氧化锌、钽酸锂、铌酸锂、锆钛酸铅、铌镁酸铅—钛酸铅。

15.如权利要求1所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第二层包括：压电层，所述压电层包括多个晶粒，所述多个晶粒组成的晶体的摇摆曲线半峰宽低于2.5度。