[发明专利]一种超高灵敏度多巴胺生物传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种多巴胺生物传感器，其特征在于，包括：导电衬底、敏感层、金属铝层，所述敏感层位于导电衬底的上层，所述金属铝层位于导电衬底下层；所述敏感层为HfO₂超薄膜。

2.根据权利要求1所述的多巴胺生物传感器，其特征在于，所述导电衬底为导电硅衬底。

3.根据权利要求1所述的多巴胺生物传感器，其特征在于，所述HfO₂超薄膜厚度为15-40纳米。

4.一种多巴胺生物传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

在导电硅衬底上，采用与半导体工艺兼容的热ALD或等离子体增强ALD在80-350℃下低温沉积HfO₂超薄膜；再在硅衬底背面蒸镀金属铝，即获得了多巴胺生物传感器。

5.根据权利要求4所述的多巴胺生物传感器的制备方法，其特征在于，所述HfO₂超薄膜厚度为15-40纳米。

6.根据权利要求4所述的多巴胺生物传感器的制备方法，其特征在于，所述热ALD的沉积参数为：铪源为有机铪源或无机铪源，氧源为水，循环数为150循环-400循环。

7.根据权利要求4所述的多巴胺生物传感器的制备方法，其特征在于，所述等离子体增强ALD的沉积参数为：铪源为有机铪源或无机铪源，氧源为氧气等离子体，循环数为150循环-400循环。

8.根据权利要求6或7所述的多巴胺生物传感器的制备方法，其特征在于，所述有机铪源为二甲基氨基铪或二甲乙基氨基铪，所述无机铪源为四氯化铪。