[发明专利]一种加载型波导光调制器

说明书

本发明提供了一种加载型波导光调制器，电致伸缩材料层设置在第一金属层和第二金属层之间，导波部设置在电致伸缩材料层中，在第一金属层和导波部之间形成加载型波导。应用时，在第一金属层和第二金属层加施加电场，电致伸缩材料层将发生形变，从而改变第一金属层与导波部之间的距离，从而改变波导的传播特性。本发明中，因为加载型波导的传播特性对该距离非常敏感，所以本发明具有调制灵敏度高的优点，调制深度大，在加载型波导光调制领域具有重要的应用前景。

技术领域

本发明涉及光调制器领域，具体涉及一种加载型波导光调制器。

背景技术

加载型波导包括金属膜和高折射率介质，电磁波能量被限制在金属膜和高折射率介质间传播。加载型波导具有模式面积小、传播距离长的优点。但是，基于加载型波导的光调制器较少，设计基于加载型波导的光调制器，对于信息加载、高灵敏传感具有重要的意义，对丰富微纳光子学器件具有重要的价值。

发明内容

为解决以上问题，本发明提供了一种加载型波导光调制器，该光调制器包括衬底、第一金属层、电致伸缩材料层、第二金属层、导波部；第一金属层置于衬底上，电致伸缩材料层置于第一金属层上，第二金属层置于电致伸缩材料层上，导波部设置在电致伸缩材料层中，导波部与第一金属层的距离小于100纳米；使用时，在第一金属层和第二金属层间施加电场，所述电致伸缩材料层形变，改变导波部与第一金属层之间的距离，从而改变加载型波导的传播特性。

更进一步地，导波部具有圆形的截面。

更进一步地，导波部的侧面还设有突出部。

更进一步地，突出部为矩形，矩形的长边沿水平方向。

更进一步地，第一金属层与电致伸缩材料层中间的界面具有凸起的弧面，弧面的顶部位于导波部的正下面

更进一步地，导波部的材料为硅。

更进一步地，第一金属层的材料为金。

更进一步地，第二金属层的材料为金、银、铜。

更进一步地，电致伸缩材料层的材料为锆钛酸铅陶瓷。

更进一步地，第二金属层与导波部的距离大于1微米。

本发明的有益效果：本发明提供了一种加载型波导光调制器，电致伸缩材料层设置在第一金属层和第二金属层之间，导波部设置在电致伸缩材料层中，在第一金属层和导波部之间形成加载型波导。应用时，在第一金属层和第二金属层加施加电场，电致伸缩材料层将发生形变，从而改变第一金属层与导波部之间的距离，从而改变波导的传播特性。本发明中，因为加载型波导的传播特性对该距离非常敏感，所以本发明具有调制灵敏度高的优点，调制深度大，在加载型波导光调制领域具有重要的应用前景。

以下将结合附图对本发明做进一步详细说明。

附图说明

图1是加载型波导光调制器的示意图。

图2是又一种加载型波导光调制器的示意图。

图3是再一种加载型波导光调制器的示意图。

图中：1、衬底；2、第一金属层；3、电致伸缩材料层；4、第二金属层；5、导波部；6、突出部。

具体实施方式

为进一步阐述本发明达成预定目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及实施例对本发明的具体实施方式、结构特征及其功效，详细说明如下。

实施例1