[发明专利]一种低应力耐高温树脂镜片及其制备方法

权利要求书

1.一种低应力耐高温的树脂镜片，其特征在于，包括依次排列的树脂镜片基片、加硬层以及减反射层；其中，所述加硬层位于所述树脂镜片基片表面，所述减反射层位于所述加硬层表面。

2.根据权利要求1所述的树脂镜片，其特征在于，所述低应力耐高温的树脂镜片还包括防水层，所述防水层位于所述减反射层表面。

3.根据权利要求2所述的树脂镜片，其特征在于，所述镜片表面还设置了网格状沟槽，且所述沟槽延伸至所述镜片边沿；优选的，所述网格状沟槽包括1～20个横向沟槽以及1～20个所述纵向沟槽。

4.根据权利要求3所述的树脂镜片，其特征在于，所述网格状沟槽深度大于等于防水层和减反射层厚度之和；进一步的，所述网格状沟槽宽度为1～50μm。

5.根据权利要求1～4任一项所述的树脂镜片，其特征在于，所述加硬层的材料为有机硅；优选的，所述有机硅中至少含有Ti元素；更进一步的，所述加硬层的厚度为1～5μm。

6.根据权利要求1～4任一项所述的树脂镜片，其特征在于，所述减反射层包括低应力硅镁复合氧化物层、ZrO₂层以及掺锡氧化铟层；进一步优选的，所述低应力硅镁复合氧化物由SiO₂和MgO组成，其中SiO₂的占低应力硅镁复合氧化物摩尔分数的70％～95％；进一步优选的，所述减反射层的厚度为180～400nm。

7.根据权利要求1～4任一项所述的树脂镜片，其特征在于，所述防水层的材料为含氟防水材料；更进一步的，所述防水层的厚度为4～20nm。

8.根据权利要求1～4任一项所述的树脂镜片，其特征在于，所述低应力耐高温树脂镜片的平均反射率≤0.5％。

9.一种权利要求1～8任一项所述的低应力耐高温树脂镜片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1制备加硬层：在树脂镜片基片表面形成加硬层，即获得含加硬层的树脂镜片；

S2制备减反射层：在S1获得的树脂镜片表面形成所述减反射层，即获得含减反射层的树脂镜片，具体包括：

S21：在步骤S1获得的树脂镜片表面交替分别形成两层低应力硅镁复合氧化物层和两层ZrO₂层，即获得包括两层低应力硅镁复合氧化物层和两层ZrO₂层的树脂镜片；

S22：在步骤S21获得的树脂镜片表面形成含ITO层的树脂镜片；

S23：在步骤S22获得的树脂镜片表面形成含低应力硅镁复合氧化物层的树脂镜片；

S3制备防水层：在步骤S23获得的树脂镜片表面形成防水层，即获得含防水层的树脂镜片；

S4形成沟槽：在S3获得的树脂镜片表面采用激光切割的方式分别形成横向和纵向沟槽或先采用韧性极细纤维在S1获得树脂镜片表面进行遮挡，再进行步骤S2和S3以形成沟槽，即得；优选的，所述韧性极细纤维的直径为1～30μm；进一步优选的，所述韧性极细纤维为单模光纤纤芯。