[发明专利]惯性传感器、电子设备及移动体

说明书

提供惯性传感器、电子设备及移动体。当将相互正交的三个轴作为X轴、Y轴和Z轴时，惯性传感器具有：基板；可动体，绕沿所述Y轴的摆动轴摆动；以及突起，在从所述Z轴方向的俯视观察时与所述可动体重叠，并从所述基板向所述可动体侧突出设置，其中所述突起具有近端侧突起和位于相比于所述近端侧突起远离所述摆动轴的侧的远端侧突起，当所述可动体绕所述摆动轴相对于所述基板摆动时，所述近端侧突起及所述远端侧突起同时与所述可动体接触或在所述近端侧突起与所述可动体接触后所述远端侧突起与所述可动体接触。

技术领域

本发明涉及惯性传感器、电子设备及移动体。

背景技术

例如，在专利文献1中记载的惯性传感器是能够检测Z轴方向的加速度的传感器，其具有：基板、绕沿Y轴方向的摆动轴相对于基板进行跷跷板摆动的可动体、以及设置于基板的检测电极。此外，可动体具有隔着摆动轴设置并绕摆动轴的旋转力矩相互不同的第一可动部及第二可动部。此外，检测电极具有与第一可动部相对地配置于基板的第一检测电极和与第二可动部相对地配置于基板的第二检测电极。

在这种构成的惯性传感器中，如果施加Z轴方向的加速度，则可动体绕摆动轴进行跷跷板摆动，伴随于此，第一可动部与第一检测电极之间的静电电容和第二可动部与第二检测电极之间的静电电容相互反相地变化。因此，能够基于该静电电容的变化来检测Z轴方向的加速度。

此外，在专利文献1中记载的惯性传感器具有止动件，该止动件设置于基板，用于在可动体过度地进行跷跷板摆动时通过与可动体接触来限制可动体进一步的位移。此外，止动件具有第一止动件和与第一止动件相比位于远离摆动轴的侧的第二止动件。

专利文献1：日本特开2015-031644号公报。

但是，在专利文献1的惯性传感器中，第一止动件与第二止动件高度相同。因此，可动体如果过度地进行跷跷板摆动，则首先与距摆动轴为远端侧的第二止动件接触，在其冲击下向基板侧挠曲而与近端侧的第一止动件接触。由此，如果可动体先与远端侧的第二止动件接触，则接触时的冲击容易变大，在其冲击下可动体和/或基板容易破损。

发明内容

实施方式记载的惯性传感器的特征在于，当将相互正交的三个轴作为X轴、Y轴和Z轴时，具有：基板；可动体，绕沿所述Y轴的摆动轴摆动；以及突起，在从所述Z轴方向的俯视观察时与所述可动体重叠，并从所述基板向所述可动体侧突出设置，其中所述突起具有近端侧突起和位于相比于所述近端侧突起远离所述摆动轴的侧的远端侧突起，当所述可动体绕所述摆动相对于所述基板轴摆动时，所述近端侧突起及所述远端侧突起同时与所述可动体接触或在所述近端侧突起与所述可动体接触后所述远端侧突起与所述可动体接触。

附图说明

图1是示出第一实施方式的惯性传感器的俯视图。

图2是图1中的A-A线剖视图。

图3是示出惯性传感器所具有的突起的俯视图。

图4是图3中的B-B线剖视图，是用于说明突起的功能的剖视图。

图5是图3中的B-B线剖视图，是用于说明突起的功能的剖视图。

图6是示出第二实施方式的惯性传感器的俯视图。

图7是示出第三实施方式的惯性传感器的俯视图。

图8是示出第四实施方式的惯性传感器的剖视图。

图9是示出第五实施方式的作为电子设备的智能手机的俯视图。

图10是示出第六实施方式的作为电子设备的惯性计测装置的分解立体图。

图11是图10所示的惯性计测装置所具有的基板的立体图。

图12是示出第七实施方式的作为电子设备的移动体位置测定装置的整体系统的框图。