[发明专利]声表面波湿度传感器及其制作方法

权利要求书

1.一种声表面波湿度传感器，其特征在于，包括衬底、设在所述衬底上表面的压电薄膜、设在所述压电薄膜上表面的叉指电极和ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层；所述ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层涂覆在叉指电极的上表面和/或所述压电薄膜未被所述叉指电极覆盖的上表面；其中，所述涂覆在所述叉指电极的上表面和/或所述压电薄膜未被所述叉指电极覆盖的上表面的所述ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层由以下步骤实现：

将纳米线粉末和石墨烯量子点溶液按照物料比1-5mg:50-2000μL混合，并加入水稀释，超声分散得到敏感溶液；

将所述敏感溶液涂在所述叉指电极的上表面和/或所述压电薄膜未被所述叉指电极覆盖的上表面上并烘干即可。

2.根据权利要求1所述的声表面波湿度传感器，其特征在于，按照所述石墨烯量子点溶液与所述水的体积比1:5-1000加入所述水稀释。

3.根据权利要求1所述的声表面波湿度传感器，其特征在于，将纳米线粉末和石墨烯量子点溶液按照物料比1-5mg:1000-2000μL混合。

4.根据权利要求1所述的声表面波湿度传感器，其特征在于，将所述敏感溶液涂在所述叉指电极的上表面和/或所述压电薄膜未被所述叉指电极覆盖的上表面上并在60～80℃下烘干即可。

5.根据权利要求1所述的声表面波湿度传感器，其特征在于，所述压电薄膜的材质为氧化锌、氮化铝或掺杂氮化铝。

6.根据权利要求1所述的声表面波湿度传感器，其特征在于，所述压电薄膜厚度为0.2～6μm。

7.根据权利要求1所述的声表面波湿度传感器，其特征在于，所述叉指电极的波长为50nm～400μm，金属化率为0.1～0.9。

8.根据权利要求1所述的声表面波湿度传感器，其特征在于，所述叉指电极由金属单质、导电氧化物、导电纳米线和二维材料中的任意一种制得。

9.根据权利要求1所述的声表面波湿度传感器，其特征在于，将所述纳米线粉末和所述石墨烯量子点溶液按照物料比1-5mg:50-2000μL混合，并加入所述水稀释，超声分散30～60分钟得到所述敏感溶液。

10.一种权利要求1-9任一项所述的声表面波湿度传感器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

在衬底上磁控溅射一层氧化锌压电薄膜；

在所述压电薄膜上旋涂一层光刻胶，在激光直写平台上进行光刻，制作器件图形，然后进行显影；

采用热蒸发的方法沉积铬及金制得叉指电极，并使用丙酮进行剥离；

将纳米线粉末和石墨烯量子点溶液按照物料比1-5mg:50-2000μL混合，并加入水稀释，搅拌得到敏感溶液；

将所述敏感溶液涂在所述叉指电极的上表面和/或所述压电薄膜未被所述叉指电极覆盖的上表面上得到所述声表面波湿度传感器。