[发明专利]一种单腔清洗镀膜一体机

权利要求书

1.一种单腔清洗镀膜一体机，其特征在于：该种单腔清洗镀膜一体机包括机架、汽化室、热解室、镀膜腔、清洗机构、冷阱、冷冻机和真空泵，机架上设置有依次相连通的汽化室、热解室和镀膜腔，清洗机构与镀膜腔内接通，镀膜腔与冷阱接通，冷阱分别连接到冷冻机和真空泵。

2.根据权利要求1所述的一种单腔清洗镀膜一体机，其特征在于：所述镀膜腔包括腔体、底盘、转料组件和上盖组件，所述腔体底部封装有底盘，底盘上安装有转料组件，腔体顶部设置有上盖组件，所述转料组件包括电机、转轴、同步带轮、齿形皮带和转盘，所述电机通过支架设置于机架上，转轴通过轴承座竖直插装于底盘上，电机的输出轴和转轴上安装有同步带轮，两同步带轮通过齿形皮带连接，位于腔体内的转轴上部安装有转盘。

3.根据权利要求2所述的一种单腔清洗镀膜一体机，其特征在于：所述上盖组件包括导向轴、弹簧、限位板、升降钣金、升降气缸、上盖、连接轴和升降盘，所述导向轴竖直设置于机架上，导向轴上套有弹簧，弹簧上部的导向轴上安装有限位板，弹簧下方的导向轴上套有升降钣金，机架下平面安装有升降气缸，升降气缸的伸缩杆与升降钣金固定连接，升降钣金伸出端安装有与腔体配合的上盖，上盖通过连接轴连接升降盘，连接轴和升降盘位于腔体内。

4.根据权利要求1所述的一种单腔清洗镀膜一体机，其特征在于：所述清洗机构包括等离子设备，所述等离子设备接电连接到底盘和升降盘，所述升降盘作为正极，所述底盘作为负极，所述底盘和升降盘采用不锈钢，所述镀膜腔的腔体外接等离子气体。