[发明专利]惯性传感器、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种惯性传感器，其特征在于，

在将互相正交的三个轴设为X轴、Y轴以及Z轴时，所述惯性传感器具有：

基板；

可动体，绕沿着所述Y轴的摆动轴摆动；以及

电极，配置于所述基板，并且在从所述Z轴方向的俯视观察下，所述电极与所述可动体重叠，

在从所述Z轴方向的俯视观察下，所述可动体具有隔着所述摆动轴设置的第一可动部以及第二可动部，

在从所述Z轴方向的俯视观察下，所述第一可动部具有：

对称部，相对于所述摆动轴与所述第二可动部对称设置；以及

非对称部，位于比所述对称部距离所述摆动轴更远的一侧，并且与所述第二可动部非对称，

所述第一可动部绕所述摆动轴的旋转力矩大于所述第二可动部绕所述摆动轴的旋转力矩，

在从所述Z轴方向的俯视观察下，所述电极具有：

第一检测电极，与所述第一可动部的所述对称部重叠设置；以及

第一虚拟电极，在比所述第一检测电极距离所述摆动轴更远的一侧与所述第一可动部的所述对称部以及所述非对称部重叠设置，并且所述第一虚拟电极与所述可动体为相同电位，

所述对称部与所述第一虚拟电极的分开距离大于所述对称部与所述第一检测电极的分开距离，

在从所述Z轴方向的俯视观察下，所述电极具有：

第二检测电极，与所述第二可动部重叠设置；以及

第二虚拟电极，在比所述第二检测电极距离所述摆动轴更远的一侧与所述第二可动部重叠设置，所述第二虚拟电极与所述可动体为相同电位，

所述第二可动部与所述第二虚拟电极的分开距离大于所述第二可动部与所述第二检测电极的分开距离。

2.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，

所述非对称部与所述第一虚拟电极的分开距离大于所述对称部与所述第一检测电极的分开距离。

3.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，

在从所述Z轴方向的俯视观察下，所述电极具有第三虚拟电极，所述第三虚拟电极位于所述第一检测电极与所述第二检测电极之间并与所述可动体重叠设置，

所述可动体与所述第三虚拟电极的分开距离大于所述第一可动部与所述第一检测电极的分开距离以及所述第二可动部与所述第二检测电极的分开距离。

4.根据权利要求1或2所述的惯性传感器，其特征在于，

在所述第一可动部以及所述第二可动部分别设置有在所述Z轴方向上贯通所述可动体的贯通孔。

5.一种电子设备，其特征在于，具有：

权利要求1至4中任一项所述的惯性传感器；以及

控制电路，基于从所述惯性传感器输出的检测信号来进行控制。

6.一种移动体，其特征在于，具有：

权利要求1至4中任一项所述的惯性传感器；以及

控制电路，基于从所述惯性传感器输出的检测信号来进行控制。