[发明专利]等离子体发生器

权利要求书

1.一种等离子体发生器，其特征在于，包括：

阳极组件(100)，包括等离子腔室(110)、气体入口(120)和喷嘴(130)，所述气体入口(120)用于向所述等离子腔室(110)通入气体，所述喷嘴(130)设置于所述等离子腔室(110)的末端以向外排出等离子体；

阴极组件(200)，具有放电端(210)，所述放电端(210)位于所述等离子腔室(110)内，所述放电端(210)与所述等离子腔室(110)的表面之间具有预定距离；

气体发生组件(300)，包括液室(310)和气室(320)，所述液室(310)和所述气室(320)连通，所述液室(310)围绕所述喷嘴(130)设置以与所述喷嘴(130)之间导热连接，所述气室(320)通过所述阳极组件(100)的气体入口(120)连通所述等离子腔室(110)；以及

第一加热组件(311)，用于加热所述液室(310)中的液体以使所述液体气化并进入所述气室(320)，所述第一加热组件(311)包括环绕所述喷嘴(130)设置的电磁感应线圈。

2.根据权利要求1所述的等离子体发生器，其特征在于，所述气室(320)围绕所述等离子腔室(110)设置。

3.根据权利要求1所述的等离子体发生器，其特征在于，还包括第二加热组件(321)，所述第二加热组件(321)用于加热所述气室(320)中的气体。

4.根据权利要求3所述的等离子体发生器，其特征在于，所述第二加热组件(321)包括环绕所述气室(320)的感应线圈。

5.根据权利要求3所述的等离子体发生器，其特征在于，所述气室(320)与所述等离子腔室(110)之间设置有过热器(330)，所述过热器(330)用于将所述气室(320)内的气体导入所述等离子腔室(110)并加热流经其中的气体。

6.根据权利要求5所述的等离子体发生器，其特征在于，所述过热器(330)包括管路和用于加热所述管路的第三加热组件(333)。

7.根据权利要求6所述的等离子体发生器，其特征在于，所述管路包括至少两条并联的分管(331、332)。

8.根据权利要求6所述的等离子体发生器，其特征在于，所述第三加热组件(333)为电磁感应加热装置，所述电磁感应加热装置具有环绕所述管路的感应线圈。

9.根据权利要求6所述的等离子体发生器，其特征在于，所述第一加热组件(311)、所述第二加热组件(321)和所述第三加热组件(333)分别使用单独的电源。

10.根据权利要求1至9任一所述的等离子体发生器，其特征在于，所述气体入口(120)被设置为能使气体沿切向进入所述等离子腔室(110)。