[发明专利]一种晶圆对中机构

权利要求书

1.一种晶圆对中机构，包括网板(1)、对中台(2)、中心孔(3)、底圆盘(4)、安装盒(5)、转动盘(6)、控制把(7)和按键板(8)，所述网板(1)嵌入安装于安装盒(5)右侧面上，所述对中台(2)中心贯穿设有中心孔(3)，所述对中台(2)底端紧固安装于底圆盘(4)上，所述安装盒(5)侧面上转动安装有转动盘(6)，所述转动盘(6)上紧固紧固安装有控制把(7)，所述按键板(8)嵌套于安装盒(5)侧面上；

其特征在于：还包括调控组件(9)，所述调控组件(9)装设于安装盒(5)内部，所述调控组件(9)包括架板(901)、传递杆(902)、斜杆(903)、壳体(904)、遮控组环件(905)、三角板(906)、探测灯(907)、弹簧(908)、方板(909)、粗杆(910)和灯路板(911)，所述架板(901)上滑动安装有所述传递杆(902)，所述传递杆(902)左侧与所述转动盘(6)紧固连接，所述斜杆(903)与所述三角板(906)铰链连接，所述遮控组环件(905)与所述架板(901)转动连接，所述探测灯(907)嵌套于所述灯路板(911)左侧，所述弹簧(908)与所述方板(909)弹性连接，所述方板(909)与所述粗杆(910)铰链连接。

2.根据权利要求1所述一种晶圆对中机构，其特征在于：所述调控组件(9)还包括镂空槽(912)和散热扇(913)，所述壳体(904)上紧固安装有所述镂空槽(912)，所述镂空槽(912)上锁固安装有所述散热扇(913)。

3.根据权利要求2所述一种晶圆对中机构，其特征在于：所述遮控组环件(905)包括L架片(9051)、第一半环(9052)和第二半环(9054)，所述L架片(9051)插接固定于第一半环(9052)外侧端，所述第一半环(9052)与第二半环(9054)结构相同。

4.根据权利要求3所述一种晶圆对中机构，其特征在于：所述遮控组环件(905)还包括阻隔环片(9053)，所述第一半环(9052)内侧粘结安装有所述阻隔环片(9053)，所述阻隔环片(9053)中心与中心孔(3)竖直相对应。

5.根据权利要求2所述一种晶圆对中机构，其特征在于：所述散热扇(913)包括扇外体(9131)、扇叶(9132)和驱动电机(9133)，所述扇外体(9131)上固定安装有驱动电机(9133)，所述驱动电机(9133)侧端紧固安装有扇叶(9132)，所述扇外体(9131)位于安装盒(5)侧端。

6.根据权利要求2所述一种晶圆对中机构，其特征在于：所述弹簧(908)共设有两个，并且架设安装于壳体(904)内壁上。

7.根据权利要求2所述一种晶圆对中机构，其特征在于：所述架板(901)两侧固定安装于壳体(904)上，所述灯路板(911)外体为长方体结构。

8.根据权利要求2所述一种晶圆对中机构，其特征在于：所述网板(1)四个角点位置预制设有圆孔，所述中心孔(3)的半径大于二厘米。

9.根据权利要求2所述一种晶圆对中机构，其特征在于：所述三角板(906)设有三个角点，并且三个角点分别与斜杆(903)、遮控组环件(905)、方板(909)铰链连接。

10.根据权利要求2所述一种晶圆对中机构，其特征在于：所述安装盒(5)上从顶端到底端依次安装设有对中台(2)、底圆盘(4)和调控组件(9)。