[发明专利]紫外固化设备中的风机控制方法及紫外固化设备

权利要求书

1.一种紫外固化设备中的风机控制方法，包括：

获取所述紫外固化设备中紫外固化灯头的目标风压值，检测当前所述紫外固化灯头内的第一风压值；

基于所述目标风压值以及所述第一风压值，根据预设闭环控制算法，确定所述紫外固化灯头的对应的风机的控制频率；

基于所述控制频率，控制所述风机向所述紫外固化灯头内送风，使所述紫外固化灯头内的风压保持稳定。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述基于所述风机控制频率，控制风机向所述紫外固化灯头内送风，使所述紫外固化灯头内的风压保持稳定之前，还包括：

检测所述紫外固化设备中热交换器进气口处的第一气压值和/或第一流量值，和/或所述热交换器排气口处的第二气压值和/或第二流量值，所述风机与所述热交换器连通；

基于所述第一气压值、所述第一流量值、所述第二气压值以及所述第二流量值中的至少之一，确定是否需要对所述控制频率进行前馈调节；

所述基于所述风机控制频率，控制风机向所述紫外固化灯头内送风，包括：

在确定需要对所述控制频率进行前馈调节时，基于所述第一气压值、所述第一流量值、所述第二气压值以及所述第二流量值中的至少之一，确定前馈调节补偿值，采用所述前馈调节补偿值对所述控制频率进行补偿，得到补偿后的所述控制频率；

基于补偿后的所述控制频率，控制所述风机向所述紫外固化灯头内送风。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述第一气压值、所述第一流量值、所述第二气压值以及所述第二流量值中的至少之一，确定是否需要对所述控制频率进行前馈调节，包括：

获取预设时间段内所述第一气压值的第一气压波动幅度和/或所述第一流量值的第一流量波动幅度，和/或所述预设时间段内所述第二气压值的第二气压波动幅度和/或所述第二流量值的第二流量波动幅度；

基于所述第一气压波动幅度和/或所述第一流量波动幅度，确定是否需要对所述控制频率进行前馈调节，和/或，

基于所述第二气压波动幅度和/或所述第二流量波动幅度，确定是否需要对所述控制频率进行前馈调节。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述闭环控制算法包括但不限于PID算法、模糊控制算法以及神经网络算法。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述闭环控制算法为所述PID算法，所述基于所述目标风压值以及所述第一风压值，根据预设闭环控制算法，确定所述紫外固化灯头的对应的风机的控制频率，包括：

获取所述目标风压值和所述第一风压值之间的风压差值；

将所述风压差值代入公式

得到所述风机控制频率，U(t)为所述风机控制频率，K_p为预设比例参数，T_i为预设积分时间，T_d为预设微分时间，t为当前时间，e(t)为所述风压差值，为所述风压差值基于所述当前时间的一阶偏导数。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述获取所述紫外固化设备中紫外固化灯头的目标风压值，包括：

获取所述紫外固化灯头的灯头功率，基于灯头功率与目标风压值之间的预设对应关系，获取与所述灯头功率对应的所述目标风压值。

7.一种紫外固化设备，包括：风机、紫外固化灯头、风压检测模块和控制器，其中，

所述紫外固化灯头用于对晶圆进行紫外固化工艺；

所述控制器，用于获取所述紫外固化灯头的目标风压值，以及基于所述风压检测模块检测当前所述紫外固化灯头内的第一风压值；基于所述目标风压值以及所述第一风压值，根据预设闭环控制算法，确定所述风机的控制频率；基于所述控制频率，控制所述风机向所述紫外固化灯头内送风，使所述紫外固化灯头内的风压保持稳定。