[发明专利]掩膜板组件及其制造方法有效
申请号: | 202010582174.9 | 申请日: | 2020-06-23 |
公开(公告)号: | CN111575648B | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 张国梦;嵇凤丽;黄琰 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人: | 李莎 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩膜板 组件 及其 制造 方法 | ||
1.一种掩膜板组件,包括至少两个掩膜板;所述至少两个掩膜板对应的产品的面板尺寸不同,所述至少两个掩膜板的宽度相等,且所述宽度被配置为同时匹配所述至少两个掩膜板各自对应的产品的面板尺寸且不同面板尺寸的产品能同时完成制造;所述至少两个掩膜板的透光区域宽度被配置为令各所述掩膜板在同一预设张网拉力下完成张网,所述至少两个掩膜板被配置为:在各掩膜板的透光区域内按照对应产品的像素大小和像素密度分布开口,以使各所述掩膜板的所述开口的大小和分布密度令各所述掩膜板在同一预设张网拉力下完成张网。
2.根据权利要求1所述的掩膜板组件,其中,所述至少两个掩膜板均为精细金属掩膜板。
3.根据权利要求2所述的掩膜板组件,其中,所述掩膜板组件还包括支撑掩膜板,所述支撑掩膜板与所述至少两个掩膜板为一组;所述支撑掩膜板的透光区域被配置为根据所述至少两个掩膜板的排布位置以及各掩膜板对应的产品的面板尺寸完成布设。
4.根据权利要求3所述的掩膜板组件,其中,所述掩膜板组件还包括通用掩膜板,所述通用掩膜板的透光区域被配置为根据所述至少两个掩膜板的布设位置以及各掩膜板对应的产品的面板尺寸完成布设。
5.根据权利要求4所述的掩膜板组件,其中,所述掩膜板组件还包括至少两个掩膜框架;所述支撑掩膜板与所述至少两个掩膜板设置在一个掩膜框架上,所述通用掩膜板设置在另一个掩膜框架上。
6.一种如权利要求1所述的掩膜板组件的制造方法,包括:
制造宽度相等的至少两个掩膜板;
其中,所述至少两个掩膜板对应的产品的面板尺寸不同,且所述宽度被配置为同时匹配所述至少两个掩膜板各自对应的产品的面板尺寸。
7.根据权利要求6所述的制造方法,其中,所述制造方法还包括:
在上述至少两个掩膜板上设置透光区域;
其中,所述至少两个掩膜板的透光区域宽度被配置为令各所述掩膜板在同一预设张网拉力下完成张网。
8.根据权利要求6或7所述的制造方法,其中,所述制造方法还包括:
制造支撑掩膜板;
其中,所述支撑掩膜板与所述至少两个掩膜板为一组;所述支撑掩膜板的透光区域被配置为根据所述至少两个掩膜板的排布位置以及各掩膜板对应的产品的面板尺寸完成布设。
9.根据权利要求8所述的制造方法,其中,所述制造方法还包括:
制造通用掩膜板;
其中,所述通用掩膜板的透光区域被配置为根据所述至少两个掩膜板的布设位置以及各掩膜板对应的产品的面板尺寸完成布设。
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