[发明专利]一种单热源“T”字型微机械双轴薄膜陀螺

权利要求书

1.一种单热源“T”字型微机械双轴薄膜陀螺，其特征在于，包括敏感层和盖板，其中，

所述敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的一个隔离电阻，三个加热器，两对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；

定义所述“T”字型凹槽的两臂方向分别为X，Y方向，敏感层的高度方向为Z向；所述加热器和所述热敏电阻的放置方向均与X或Y方向平行或者垂直；两对热敏电阻两两相对设置，分别用于检测X轴，Y轴的角速度；

检测X轴的一对热敏电阻放置于“T”字型结构的左侧，并与X方向平行，与Y方向垂直；检测Y轴的一对热敏电阻放置于“T”字型结构的右侧，并与Y方向平行，与X方向垂直；

检测X轴的两个热敏电阻的中间设置一个所述隔离电阻，两侧各设置一个所述加热器；“T”字型结构中间位置设置一个所述加热器；

三个加热器的通电方式为周期方波式通电，即加热器的一个工作周期包括脉冲电压激励时间与断电间隔时间；

所述盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。

2.根据权利要求1所述的单热源“T”字型微机械双轴薄膜陀螺，其特征在于，每个所述加热器均由相同频率的方波信号驱动，频率为18Hz，脉冲占空比为50％，加热器加热功率为70mW。

3.根据权利要求1所述的单热源“T”字型微机械双轴薄膜陀螺，其特征在于，所述“T”字型凹槽的外边沿大于上表面加热器和热敏电阻的外轮廓。

4.根据权利要求1所述的单热源“T”字型微机械双轴薄膜陀螺，其特征在于，所述“T”字型凹槽的深度为整个敏感层高度的2/3至3/4。

5.根据权利要求1所述的单热源“T”字型微机械双轴薄膜陀螺，其特征在于，所述敏感层上表面至所述盖板上凹槽顶部的距离为气体介质工作腔体高度，高度为200μm至1000μm。

6.根据权利要求1所述的单热源“T”字型微机械双轴薄膜陀螺，其特征在于，所述敏感层上表面的所述加热器的高度为15μm至20μm。

7.根据权利要求1所述的单热源“T”字型微机械双轴薄膜陀螺，其特征在于，所述敏感层上表面的所述热敏电阻的高度为95μm至100μm。

8.根据权利要求1所述的单热源“T”字型微机械双轴薄膜陀螺，其特征在于，所述敏感层上表面的所述隔离电阻的高度为200μm至210μm。

9.根据权利要求1所述的单热源“T”字型微机械双轴薄膜陀螺，其特征在于，检测X、Y轴方向角速度的加热器与热敏电阻的间距为加热器长度的1/4至1/3。

10.根据权利要求1所述的单热源“T”字型微机械双轴薄膜陀螺，其特征在于，所述加热器均是由具有高温度系数的TaN材料电阻线构成；所述热敏电阻均是由n型重掺杂GaAs材料电阻线构成。