[发明专利]一种“十”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺

权利要求书

1.一种“十”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺，其特征在于，包括敏感层和盖板，其中，

所述敏感层的上表面设置有呈“十”字型结构的四对加热器和四根热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽；

定义所述“十”字型凹槽的两臂方向分别为X，Y方向，敏感层的高度方向为Z向；所述加热器和所述热敏电阻的放置方向均为与X或Y方向平行或者垂直；四对所述加热器和四根所述热敏电阻形成一个“交叉”网络，沿X、Y两个垂直坐标轴对称设置；一对加热器和一根热敏电阻构成一个测量单元，共形成四个所述测量单元；

检测X轴角速度的热敏电阻为两个，沿“十”字型结构的X轴方向对称放置，且与Y轴方向垂直；检测Y轴角速度的热敏电阻为两个，沿“十”字型结构的Y轴方向对称放置，且与X轴方向垂直；

四对加热器中的两对放置在X轴方向上，且与X轴垂直；另外两对放置在Y轴方向上，且与Y轴垂直；

四对加热器的通电方式为周期式推挽式通电，即加热器的一个工作周期包括脉冲电压激励时间与断电间隔时间；

四对加热器的悬置高度一致，均为z1；检测X轴角速度的热敏电阻、检测Y轴角速度的热敏电阻的悬置高度一致，均为z2，且满足：z1＜z2，即加热器与热敏电阻之间存在高度差；

所述盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。

2.根据权利要求1所述的“十”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺，其特征在于，每对所述加热器均由两个相同频率的方波信号驱动，相位差为90度，脉冲占空比为50％。

3.根据权利要求1所述的“十”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺，其特征在于，所述“十”字型凹槽的外边沿大于上表面加热器和热敏电阻的外轮廓。

4.根据权利要求1所述的“十”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺，其特征在于，所述“十”字型凹槽的高度为整个敏感层高度的2/3至3/4。

5.根据权利要求1所述的“十”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺，其特征在于，所述盖板上刻蚀的凹槽的深度为50μm至100μm。

6.根据权利要求1所述的“十”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺，其特征在于，所述测量单元的宽度为整个敏感层宽度的1/6至1/5。

7.根据权利要求1所述的“十”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺，其特征在于，所述加热器是由具有高温度系数的TaN材料电阻线构成。

8.根据权利要求1所述的“十”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺，其特征在于，所述热敏电阻是由重掺杂的n型GaAs材料电阻线构成。

9.根据权利要求1所述的“十”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺，其特征在于，所述高度差的范围为50～100um。