[发明专利]全自动硅片清洗送料夹具及其清洗方法

说明书

本发明的提供的全自动硅片清洗送料夹具及其清洗方法，长边条和短边条首尾依次铰接组成一个平行四边形的边框，平行四边形的边框的锐角大小可调，调整范围为60°到90°；每个长边条的内侧面纵向等间距的设置有固定柱子，相邻固定柱子的间距大于硅片的厚度，小于硅片厚度的1.5倍；还包括底板，所述的底板设置在边框的一侧，底板的其中一个长边固定在其中一个长边条上。将装载有硅片的全自动硅片清洗送料夹具放置在全自动硅片清洗设备中清洗，每个清洗步骤中，都至少转动一次短边条，调整平行四边形的边框的夹角。本发明通过平行四边形的边框的变形，用海绵对硅片夹持部分清洗，可以确保整个硅片表面都充分的清洗。

技术领域

本发明涉及硅片清洗技术领域，特别是涉及一种全自动硅片清洗送料夹具及其清洗方法。

背景技术

硅片清洗工艺主要集中在进炉管之前的清洗和刻蚀之后的清洗。进炉管之前的清洗主要是用于去除硅片表面的颗粒及金属、有机沾污等。刻蚀之后的清洗主要是用于去除光刻胶带来的聚合物残留，刻蚀的反应副产物等。

超声波清洗由于其清洗效率高、能够节约药液等特点在在湿法工艺中得到了广泛的应用。超声波在湿法清洗工艺中的原理，主要是高频振荡信号通过换能器转换成高频机械振荡而传播到清洗药液中，声波在液体中是以正弦曲线纵向传播，强弱相间，弱的声波会对液体产生一定的负压，使得液体体积增加，液体中的分子空隙增大，形成许多微小的气泡，而当强的声波信号作用于液体时，则会对液体产生一定的正压，即液体体积被压缩减小，当液体中气泡的破裂会产生能量极大的冲击波，从而起到清洗的作用。

一般清洗过程都是将硅片逐个固定或者夹持，然后依次进行清洗，固定或者夹持的部分不能充分的清洗。

发明内容

针对上述技术问题，本发明提供一种全自动硅片清洗送料夹具及其清洗方法，对固定或夹持的部分也能充分的进行清洗。

针对上述技术目的，本发明的具体技术方案为：

首先，本发明提供全自动硅片清洗送料夹具，包括边框，所述的边框包括一对长边条和一对短边条，所述的长边条和短边条首尾依次铰接组成一个平行四边形的边框，所述的平行四边形的边框的锐角大小可调，调整范围为60°到90°；所述的一对长边条相对的一侧面为内侧面，每个长边条的内侧面纵向等间距的设置有固定柱子，相邻固定柱子的间距大于硅片的厚度，小于硅片厚度的1.5倍；还包括底板，所述的底板设置在边框的一侧，底板的其中一个长边固定在其中一个长边条上，底板另外三边均与边框滑动接触。

进一步的，所述的固定柱子的顶部设有海绵球。

优选的，相邻的固定柱子之间设有端头清洗海绵，所述的端头清洗海绵的表面为弧形凸起。

本发明还提供一种全自动硅片清洗方法，包括以下步骤：

(1)将边框调整为矩形，将硅片逐片的插入到所述的全自动硅片清洗送料夹具，硅片的两端分别插入一对长边条相对的固定柱子之间；然后转动长边条和短边条将边框调整为平行四边形，使得硅片倾斜；

(2)将装载有硅片的全自动硅片清洗送料夹具放置在全自动硅片清洗设备中清洗，每个清洗步骤中，都至少转动一次短边条，调整平行四边形的边框的夹角。

其中，步骤(2)所述的放置在全自动硅片清洗设备中清洗，包括以下子步骤：

(2.1)将将装载有硅片的全自动硅片清洗送料夹具泡入清水中，超声波振荡150-300秒；

(2.2)再浸泡入含有溶剂的溶液中，超声波振荡30-60秒；

(2.3)再浸泡入清洗液中，超声波振荡300-500秒；

(2.4)再浸泡入植物胶溶液中，超声波振荡100-250秒；

(2.5)最后用清水洗净，放入烘干设备中烘干，冷却至常温。