[发明专利]照明装置及曝光系统

说明书

一种照明装置，包括：至少一个第一类光源，配置为产生波长在第一范围的第一类光束；至少一个准直透镜，配置为对所述第一类光束进行准直；第一类匀光组件，配置为对所述第一类光束进行匀光处理；第二类光源，配置为产生波长在第二范围的第二类光束；第二类匀光组件，配置为对所述第二类光束进行匀光处理；光混合组件，配置为将经过匀光处理的第一类光束和第二类光束进行混合处理；光偏转件，配置为将经过混合处理的第一类光束和第二类光束按预设角度进行偏转。本发明的有益效果是将两类光源产生的光束进行混合，在保证光能充足的情况下改善阻焊油墨的感光反应。

技术领域

本发明涉及一种直写光刻技术领域，具体涉及一种照明装置及一种曝光系统。

背景技术

随着直写曝光技术的不断发展，直写光刻机在印制电路板的曝光处理工艺中日趋占据主导地位。直写光刻机应用数字光处理技术通过直接曝光的方式将图形转印到涂覆有油墨的基板上，具有适应性广、工艺时间短、成本低的优势。在图形的转印过程中，油墨的感光效果决定着印制电路板的性能，而油墨的种类很多，其感光特性也各有区别。目前市面上应用较多的阻焊油墨，其对短波范围（波长在350nm-400nm之间）的光束感应较佳，而当前直写光刻机主要采用波长为405nm的半导体激光(LD)光源，导致阻焊油墨的感光反应不佳，无法满足日益提高的应用需求；除此之外，也出现了一些直写光刻机采用多波段组合的纯LED光源，但由于LED光能量较小，且目前没有显著提高LED光源能量利用率的方法，导致多波段LED光源进行光刻时速度很慢，难以满足大规模快速量产；而极少部分采用多波段紫外激光器，需要多个短波激光器，成本太高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种多波段组合的照明装置及曝光系统以克服或减少现有技术中存在的上述问题或缺陷。

为实现上述目标，本发明采用如下的技术方案：

一种照明装置，包括：至少一个第一类光源，配置为产生波长在350nm-395nm之间的第一类光束；与所述至少一个第一类光源一一对应的至少一个准直透镜，配置为对所述第一类光束进行准直处理；第一类匀光组件，配置为对经过准直处理的所述第一类光束进行匀光处理；至少一个第二类光源，配置为产生波长在400nm-430nm之间的第二类光束；第二类匀光组件，配置为对所述第二类光束进行匀光处理；光混合组件，配置为对经过匀光处理的第一类光束和第二类光束进行混合处理；光偏转件，配置为将经过混合处理的第一类光束和第二类光束按预设角度进行偏转。

优选的，所述至少一个第一类光源包括第一LED光源和第二LED光源，所述第一LED光源产生波长为350nm-375nm的第一类光束，所述第二LED光源产生波长为375nm-395nm的第一类光束。

优选的，所述第一LED光源产生波长为365nm的第一类光束，所述第二LED光源产生波长为385nm的第一类光束。

优选的，所述第一LED光源为单个LED灯珠或呈阵列排布的多个LED灯珠，所述第二LED光源为单个LED灯珠或呈阵列排布的多个LED灯珠。

优选的，所述至少一个第二类光源包括激光光源，所述激光光源产生波长为405nm的第二类光束。

优选的，所述光混合组件包括至少一个第一类二向色镜，用于对经过准直处理的所述第一类光束进行混合以形成第一类混合光束。

优选的，其特征在于，所述第一类匀光组件包括一个复眼透镜组，用于对所述第一类混合光束进行匀光以形成第一类均匀混合光束。

优选的，其特征在于，所述第一类匀光组件包括至少一个复眼透镜组，用于对经过准直处理的所述第一类光束进行匀光以形成第一类均匀光束。

优选的，所述光混合组件包括至少一个第一类二向色镜，用于为对所述第一类均匀光束进行混合以形成第一类均匀混合光束。