[发明专利]一种X射线多层膜反射镜的调节方法及应用

权利要求书

1.一种X射线多层膜反射镜的调节方法，其特征在于，所述方法通过对X射线多层膜反射镜进行调节从而以之字形方式移动X射线二次衍射光斑，以实现对X射线的聚焦；其中，

所述X射线多层膜反射镜包括：两片设置为L型的多层膜反射镜镜片、分别设置于多层膜反射镜镜片前后的两个铍窗和用于调节反射镜镜片的齿轮；

所述每片镜片通过两个齿轮进行调节；所述镜片通过活塞与所述齿轮连接；通过电机控制旋转齿轮改变反射镜镜片的姿态；

所述方法包括以下步骤：

(1)将探测器放置于第二个铍窗后，调节X射线二次衍射光斑的面积；

(2)调节控制反射镜齿轮旋转的方向和速度，以之字形方式增加二次衍射光斑的面积；所述步骤(2)中，控制同一反射镜的两个齿轮按同方向和同速度同时旋转，当X射线二次衍射光斑增加更多时，调节另一反射镜的两个齿轮，按同方向和同速度同时旋转，使二次衍射光斑的面积在探测器上以之字形方式增加，所述旋转速度为每次1/8或1/4转；

(3)调节完后，观察探测器上一个直通光斑、两个一次衍射光斑和一个二次衍射光斑的形状；

(4)将探测器置于反射镜的焦点处，观察X射线二次衍射光斑的形状和强度，二次衍射光斑在焦点处收敛。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括设置于多层膜反射镜之外的探测器；

其中，X射线从源点发出后经过第一个铍窗后，通过L型多层膜反射镜镜片反射再通过第二个铍窗，所述探测器在第二个铍窗后对X射线进行探测确定X射线的焦点。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述步骤(1)中，先对X射线多层膜反射镜进行粗调，使四个X射线光斑同时出现在探测器上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，所述步骤(1)中，将X射线二次衍射光斑的面积调至最大，并观察其是否被铍窗外沿切割。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，所述步骤(2)中，如果二次衍射光斑某一边被铍窗外沿切割更多，则向该边的垂直方向运动；和/或

二次衍射光斑调节过度被铍窗外沿另外一端切割时，反向旋转控制所述齿轮的电机。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其特征在于，所述步骤(3)中，观察探测器上X射线二次衍射的形状，使其不被铍窗外沿切，同时保证四个X射线光斑都完整出现在探测器上。

7.一种X射线的聚焦方法，其特征在于，所述X射线的聚焦方法包括如权利要求1至6中任一项所述的X射线多层膜反射镜的调节方法。