[发明专利]光束整形装置

权利要求书

1.一种光束整形装置，其特征在于，所述光束整形装置包括激光器、第一可旋转反射镜、高斯光传播光学组件和平顶光传播光学组件，所述激光器发出的激光束经第一可旋转反射镜折转后进入高斯光传播光学组件或者进入平顶光传播光学组件后形成加工光；所述第一可旋转反射镜的入光面相对于入射光束呈45°夹角，所述第一可旋转反射镜具有将入射光束折转至高斯光传播光学组件的第一状态和将入射光束折转至平顶光传播光学组件的第二状态，所述第一可旋转反射镜通过90°旋转实现在第一状态和第二状态之间的切换。

2.根据权利要求1所述的光束整形装置，其特征在于，所述光束整形装置还包括第一驱动电机，所述第一驱动电机用于驱动所述第一可旋转反射镜旋转。

3.根据权利要求2所述的光束整形装置，其特征在于，所述高斯光传播光学组件包括第一反射镜和针孔滤波装置，在第一状态时，所述第一可旋转反射镜将入射光束折转至第一反射镜，第一反射镜将激光束进一步反射至针孔滤波装置。

4.根据权利要求3所述的光束整形装置，其特征在于，所述平顶光传播光学组件包括第二反射镜和非球面镜组，在第二状态时，所述第一可旋转反射镜将入射光束折转至第二反射镜，第二反射镜将激光束进一步反射至针孔滤波装置。

5.根据权利要求4所述的光束整形装置，其特征在于，所述高斯光传播光学组件还包括第三反射镜，所述平顶光传播光学组件还包括第四反射镜，所述光束整形装置还包括第二可旋转反射镜，第二可旋转反射镜用于在第一状态时接收针孔滤波装置出射后由第三反射镜反射的高斯光，以及用于在第二状态时接收非球面镜组出射后由第四反射镜反射的平顶光，所述第二可旋转反射镜通过90°旋转的方式实现接收高斯光或平顶光，所述第二可旋转反射镜进一步将高斯光或平顶光反射出去，所述第二可旋转反射镜反射的高斯光或平顶光的出光方向与激光器的出光方向同轴。

6.根据权利要求5所述的光束整形装置，其特征在于，所述光束整形装置还包括第二驱动电机，所述第二驱动电机用于驱动所述第二可旋转反射镜旋转。

7.根据权利要求4所述的光束整形装置，其特征在于，所述非球面镜组为开普勒型非球面镜组或伽利略型非平面镜组。

8.根据权利要求1所述的光束整形装置，其特征在于，所述光束整形装置还包括变倍扩束透镜组。