[发明专利]真空泵的制造方法、真空泵及真空泵用的定子

权利要求书

1.一种真空泵的制造方法，前述真空泵具有第1罩、第2罩、转子、多个转子翼、定子、驱动部、轴承，

前述第1罩具有吸气口，

前述第2罩具有排气口，

前述转子配置于至少被前述第1罩及前述第2罩密封的空间内，具有轴，

前述多个转子翼固定于前述转子的外周面或与前述转子的外周面一体地形成，

前述定子在前述轴的轴向上与前述转子翼交替地配置，

前述驱动部将前述轴旋转驱动，

前述轴承将前述轴能够旋转地支承，

前述真空泵的制造方法的特征在于，具有如下步骤：

对金属板实施切断加工，由此将位于前述定子的外周侧端位置的外周边缘、位于前述定子的内周侧端的内周边缘、位于前述外周边缘及前述内周边缘之间的定子翼一体地形成，并且将作为前述定子的周向上的前述定子翼的端部的定子翼侧端部从前述定子翼的内周侧端至外周侧端直线状地形成；

对前述金属板实施弯折加工，由此将前述定子翼弯折，使得前述定子翼相对于前述外周边缘的倾斜角度从前述定子翼的内周侧端至外周侧端为恒定；

配置成，使前述定子翼的位于上游侧的前述定子翼侧端部的上游侧棱线从前述定子翼的内周侧端至外周侧端为直线，且相对于配置与该上游侧棱线相向的前述转子翼的下游侧端部的面，前述轴向上的间隙为恒定。

2.一种真空泵的制造方法，前述真空泵具有第1罩、第2罩、转子、多个转子翼、定子、驱动部、轴承，

前述第1罩具有吸气口，

前述第2罩具有排气口，

前述转子配置于至少被前述第1罩及前述第2罩密封的空间内，具有轴，

前述多个转子翼固定于前述转子的外周面或与前述转子的外周面一体地形成，

前述定子在前述轴的轴向上与前述转子翼交替地配置，

前述驱动部将前述轴旋转驱动，

前述轴承将前述轴能够旋转地支承，

前述真空泵的制造方法的特征在于，具有如下步骤：

对金属板实施切断加工，由此将位于前述定子的外周侧端位置的外周边缘、位于前述定子的内周侧端的内周边缘、位于前述外周边缘及前述内周边缘之间的定子翼一体地形成，并且将作为前述定子的周向上的前述定子翼的端部的定子翼侧端部从内周侧端至外周侧端直线状或曲线状地形成；

对前述金属板实施弯折加工，由此将前述定子翼弯折，使得前述定子翼相对于前述外周边缘的倾斜角度从前述定子翼的内周侧端至外周侧端变化；

配置成，使前述定子翼的位于上游侧的前述定子翼侧端部的上游侧棱线从前述定子翼的内周侧端至外周侧端为曲线，且相对于配置与该上游侧棱线相向的前述转子翼的下游侧端部的面，前述轴向上的间隙为恒定。

3.如权利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，

通过前述切断加工形成于前述金属板的狭缝孔的长度或宽度为前述金属板的板厚的0.2倍以上。

4.如权利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，

通过前述切断加工形成于前述金属板的狭缝孔的角落部的曲率半径为0.2mm以上。

5.如权利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，

通过前述切断加工形成于前述金属板的狭缝孔的前述定子的周向上的长度从前述定子翼的内周侧端至外周侧端变大。

6.如权利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，

通过前述切断加工形成于前述金属板的狭缝孔的前述定子的周向上的长度从前述定子翼的内周侧端至外周侧端相等。

7.如权利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，

通过前述切断加工形成于前述金属板的狭缝孔的前述定子的周向上的长度从前述定子翼的内周侧端至外周侧端变小。

8.如权利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其特征在于，

通过前述切断加工形成于前述金属板的与前述外周边缘相邻的狭缝孔的前述定子的径向上的长度比前述外周边缘的前述径向上的长度小。