[发明专利]一种立式反应炉有效
申请号: | 202010588636.8 | 申请日: | 2020-06-24 |
公开(公告)号: | CN111721110B | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 黄敏涛 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | F27B1/12 | 分类号: | F27B1/12;F27D1/18;H01L21/67 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 马骥 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 立式 反应炉 | ||
1.一种立式反应炉,其特征在于,包括炉门盖、反应腔室以及导向缓冲组件,其中:
所述反应腔室包含腔室开口,所述腔室开口的边沿外翻呈环状,所述炉门盖具备第一抵接面,所述腔室开口的边沿具备第二抵接面,所述炉门盖能够通过所述第一抵接面与所述第二抵接面的抵接封闭所述腔室开口,所述腔室开口的边沿的轴向上开设有贯通孔,所述贯通孔延伸至所述第二抵接面;
所述导向缓冲组件包括导向螺栓、弹性支撑件及限位部,所述炉门盖具备用于与所述导向螺栓相连的连接孔,且所述第一抵接面及所述第二抵接面中至少一个面上开设有用于容纳所述弹性支撑件的弹性容纳凹槽;所述贯通孔、所述弹性容纳凹槽以及所述导向螺栓的连接孔沿所述腔室开口的朝向依次贯通,所述弹性支撑件设置于所述弹性容纳凹槽内并与所述炉门盖及所述腔室开口的边沿均抵接,所述导向螺栓依次穿过所述贯通孔及所述弹性支撑件;所述限位部与所述腔室开口的边沿相连并自所述腔室开口的边沿延伸至所述导向螺栓,所述限位部与所述导向螺栓配合以限制所述导向螺栓的转动;
所述腔室开口的边沿的底面上开设有容纳孔,所述容纳孔与所述贯通孔连通,且所述容纳孔的孔径大于所述贯通孔的孔径,所述限位部能够伸入所述容纳孔内并与所述导向螺栓相互抵接;
所述腔室开口的边沿的外周壁上开设有用于容纳所述限位部的定位孔,所述限位部自所述定位孔伸入并延伸至所述导向螺栓并与所述导向螺栓相互抵接;
所述导向螺栓包括沿轴向依次连接的螺杆和凸出部,所述凸出部沿所述螺杆的周向凸出于所述导向螺栓;所述导向螺栓还包括用于套设所述凸出部的套环,所述套环沿所述螺杆的轴向套设于所述凸出部上,所述套环上设有与所述凸出部的外形相适配的通孔,所述套环与所述凸出部在周向上相互限位配合以使所述套环在周向上随所述凸出部同步转动,所述限位部通过抵接所述套环并通过所述套环与所述凸出部配合以限制所述螺杆的转动;所述凸出部沿轴向可移动地设于所述通孔内,且可与所述套环在轴向上限位配合。
2.如权利要求1所述的立式反应炉,其特征在于,所述容纳孔与所述贯通孔共轴设置。
3.如权利要求1所述的立式反应炉,其特征在于,所述定位孔为螺纹孔,所述限位部为对应于所述螺纹孔的固定螺栓,所述固定螺栓能够自所述螺纹孔位于所述腔室开口的边沿的外周壁上的开口旋入所述螺纹孔并与所述导向螺栓相互抵接。
4.如权利要求1所述的立式反应炉,其特征在于,所述套环及所述容纳孔的周向轮廓均设置为圆形,所述套环的周向轮廓与所述容纳孔的周向轮廓相互吻合。
5.如权利要求1所述的立式反应炉,其特征在于,所述第一抵接面及所述第二抵接面均开设有对应所述弹性支撑件的弹性容纳凹槽。
6.如权利要求1所述的立式反应炉,其特征在于,所述弹性支撑件为弹簧,所述弹簧套设于所述导向螺栓上。
7.如权利要求1所述的立式反应炉,其特征在于,所述凸出部相对于所述螺杆对称设置。
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