[发明专利]聚磺酰胺聚合物、含有聚磺酰胺聚合物的低温交联正型光敏性组合物及其应用在审
申请号: | 202010589491.3 | 申请日: | 2020-06-24 |
公开(公告)号: | CN111548496A | 公开(公告)日: | 2020-08-18 |
发明(设计)人: | 崔庆洲 | 申请(专利权)人: | 崔国英 |
主分类号: | C08G75/30 | 分类号: | C08G75/30;H01L23/485;G03F7/039 |
代理公司: | 北京从真律师事务所 11735 | 代理人: | 程义贵 |
地址: | 264000 山东省烟*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 聚磺酰胺 聚合物 含有 低温 交联 光敏 组合 及其 应用 | ||
1.一种具有如下通式(1)聚磺酰胺聚合物,
其中:
m和n表示聚合物中的结构单元数,其为1~99的整数,m和n的关系满足15%≤m/(m+n)≤85%;所述通式(1)中的X1是二价链状连接基团;所述通式(1)中的Y是二价芳香族基团。
2.根据权利要求1所述的聚磺酰胺聚合物,所述通式(1)中的X1所示的二价链状连接基团选自下述通式(2)所示的任一基团或者这些基团以任意比例的组合;
上述通式(2)中所述的h、j和k可以分别为1到40的任意数值;
所述通式(1)中的X2是二价芳香族连接基团,选自下述通式(3)、(4)或者(5)所示的任一基团或者这些结构在任意比例的组合;
其中所述的R1,R2,R3,R4分别表示氢原子或者一价有机基团;
其中所述的Q为直接键或二价有机基团,所述有机基团选自O、S、CO、SO2、Si(CH3)2、CH(OH)、(CH2)x(1≤x≤10)、(CF2)y(1≤y≤10)、C(CH3)2、C(CF3)2、取代或未取代的-邻,-间,-对亚苯基、苯醚基(C6H4-O-C6H4)s(1≤s≤10);
其中所述的T为直接键或二价有机基团,所述有机基团选自O、S、CO、SO2、Si(CH3)2、CH(OH)、(CH2)x(1≤x≤10)、(CF2)y(1≤y≤10)、C(CH3)2、C(CF3)2、取代或未取代的-邻,-间,-对亚苯基、苯醚基(C6H4-O-C6H4)s(1≤s≤10),其中R5~R12是相同的或不同的一价有机基,选自H、CH3、或CF3;
所述通式(1)聚磺酰胺聚合物中的Y所示的二价芳香族基团选自下述式(6)或者(7)所代表的结构单元:
其中通式(6)中所述的U为直接键或二价有机基团,所述的有机基团选自O、S、CO、SO2、Si(CH3)2、CH(OH)、(CH2)x(1≤x≤10)、(CF2)y(1≤y≤10)、C(CH3)2、C(CF3)2、取代或未取代的-邻、-间、-对亚苯基。
3.根据权利要求1所述的聚磺酰胺聚合物,其重均分子量范围为5,000到200,000。
4.一种含有权利要求1-3中任一权利要求所述的聚磺酰胺聚合物的正型光敏性组合物,其包括:
(A)聚酰胺磺酰胺聚合物;
(B)光酸产生剂:其在组合物中的含量相对于(A)成分100质量份而言优选为5~40质量份,更优选为8~30质量份;
(C)交联剂:其在组合物中的含量相对于(A)成分100质量份而言优选为3~50质量份,进一步优选为5~40质量份;以及
(D)溶剂:其在组合物中的含量相对于(A)成分100质量份优选为50~600质量份,更优选为60~500质量份,进一步优选为80~300质量份。
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