[发明专利]成膜方法及成膜装置在审
| 申请号： | 202010589897.1 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN112144032A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 北见尚久;山本哲也 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社;高知县公立大学法人 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/32;C23C14/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 任玉敏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种成膜方法，使氧离子化而在对象物上进行氧化锌膜的成膜，所述成膜方法具备：
设定所述氧化锌膜的规定特性与成膜时的中性氧的比率之间的相关性发生变化的拐点的工序；
确定是采用所述中性氧的比率比所述拐点高的区域的条件还是采用所述中性氧的比率比所述拐点低的区域的条件的工序；及
在所确定的条件下进行成膜的工序。
2.一种成膜装置，使氧离子化而在对象物上进行氧化锌膜的成膜，所述成膜装置具备：
成膜部，进行所述氧化锌膜的成膜；
获取部，获取所述氧化锌膜的规定特性与成膜时的中性氧的比率之间的相关性发生变化的拐点；
检测部，检测成膜时的所述中性氧的比率；及
流量控制部，以通过所述检测部检测的所述中性氧的比率不进入相对于所述拐点的规定范围内的方式控制对所述成膜部供给的氧流量。
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