[发明专利]一种大功率微波等离子体粉体处理器

权利要求书

1.一种大功率微波等离子体粉体处理器，包括矩形波导(1)，所述矩形波导(1)的一端依次连接有三销钉调节器(2)、环形器(3)和微波源(4)，且矩形波导的另一端连接有微波谐振腔(5)，其特征在于：所述矩形波导上设置有穿过矩形波导到微波谐振腔的微波天线(6)，所述微波谐振腔包括圆柱腔体(501)，以及设置在圆柱腔体内的石英钟罩(502)，所述石英钟罩将圆柱腔体分隔成上腔体(502-1)和下腔体(502-2)，所述下腔体的下端连接有排气腔(7)，且下腔体与排气腔之间为密封连接，所述圆柱腔体的内径从上到下逐渐增大，所述下腔体的内部设置有用于增添放置处理粉体的流化床杯(8)，所述流化床杯(8)的下端连通有穿过排气腔的介质管(9)，该介质管与流化床杯的连接处设置有棉团(10)，所述流化床杯的上端设置有密封盖(11)。

2.根据权利要求1所述的一种大功率微波等离子体粉体处理器，其特征在于：所述流化床杯(8)的材质为石英、陶瓷、耐热玻璃其中任意一种。

3.根据权利要求1所述的一种大功率微波等离子体粉体处理器，其特征在于：所述流化床杯(8)为漏斗状，其上端设置有竖直筒(24)，所述密封盖(11)设置在竖直筒(24)的上端。

4.根据权利要求1所述的一种大功率微波等离子体粉体处理器，其特征在于：所述圆柱腔体(501)的内径范围为120mm-150mm。

5.根据权利要求1所述的一种大功率微波等离子体粉体处理器，其特征在于：所述排气腔(7)的一端连接有真空规管(12)，且排气腔的另一端依次连接有旋风分离器(13)、粉体过滤器(14)和真空泵(15)。

6.根据权利要求1所述的一种大功率微波等离子体粉体处理器，其特征在于：所述密封盖(11)的材质为陶瓷，且密封盖的外表面上开设有多个通孔。

7.根据权利要求1所述的一种大功率微波等离子体粉体处理器，其特征在于：所述介质管(9)的外壁设置有用于固定介质管的支撑管(16)。

8.根据权利要求1所述的一种大功率微波等离子体粉体处理器，其特征在于：所述下腔体(502-2)与排气腔连接处设置有短路盘(17)，且该短路盘设置在介质管的外壁。

9.根据权利要求1所述的一种大功率微波等离子体粉体处理器，其特征在于：所述介质管(9)的下端连接有气体钢瓶(18)。

10.根据权利要求1所述的一种大功率微波等离子体粉体处理器，其特征在于：所述棉团(10)的材质为多孔陶瓷、石英其中任意一种。