[发明专利]基于电流体喷墨打印机在柔性基底上原位制备高分辨率通孔的方法在审

专利信息
申请号: 202010590454.4 申请日: 2020-06-24
公开(公告)号: CN113838799A 公开(公告)日: 2021-12-24
发明(设计)人: 耿博文;胡文平;任晓辰 申请(专利权)人: 天津大学
主分类号: H01L21/768 分类号: H01L21/768
代理公司: 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 12214 代理人: 李蕊
地址: 300072*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 基于 流体 喷墨打印机 柔性 基底 原位 制备 高分辨率 方法
【权利要求书】:

1.一种基于电流体喷墨打印机在柔性基底上原位制备高分辨率通孔,其特征在于,通孔填充有导电性能的油墨。

2.根据权利要求1所述的基于电流体喷墨打印机在柔性基底上原位制备高分辨率通孔,其特征在于,所述通孔的直径为5~20微米。

3.如权利要求1所述基于电流体喷墨打印机在柔性基底上原位制备高分辨率通孔的方法,其特征在于,包括:将柔性基底放置在电流体喷墨打印机的打印区域,将所述电流体喷墨打印机的电压调至1000~2000V,并将电流体喷墨打印机的喷嘴对准需要制作通孔的区域进行喷墨,持续1~10秒,所述电流体喷墨打印机的喷嘴内的油墨具有导电性能。

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述持续时间为5~10秒。

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述电流体喷墨打印机的电压为1500~2000V。

6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述柔性基底为聚二甲基矽氧烷或硅胶。

7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述电流体喷墨打印机的喷嘴内油墨为银纳米颗粒墨水。

8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,所述电流体喷墨打印机的喷嘴与柔性基底的距离为30~50微米。

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