[发明专利]一种介电陶瓷表面金属化的方法及采用该方法制备的介电陶瓷元件有效
申请号: | 202010590546.2 | 申请日: | 2020-06-24 |
公开(公告)号: | CN113831154B | 公开(公告)日: | 2022-11-29 |
发明(设计)人: | 黄远提;施少雄;李卫明;郭志伟;杨应喜;袁明军 | 申请(专利权)人: | 光华科学技术研究院(广东)有限公司;广东东硕科技有限公司 |
主分类号: | H01P1/20 | 分类号: | H01P1/20 |
代理公司: | 北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11394 | 代理人: | 徐楼;卜婷 |
地址: | 511440 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 陶瓷 表面 金属化 方法 采用 制备 元件 | ||
1.一种介电陶瓷表面金属化的方法,其特征在于:该方法包括如下步骤:
1)选取介电陶瓷基体,然后在该介电陶瓷基体表面施加金属层A,获得含金属层的介电陶瓷基体I;金属层A的厚度为0.01-1μm;
2)在步骤1)获得的含金属层的介电陶瓷基体I的表面施加金属层B,获得含金属层的介电陶瓷基体II;金属层B的厚度为0.01-5μm;
3)在步骤2)获得的含金属层的介电陶瓷基体II的表面施加银层C,获得含金属层的介电陶瓷基体III;银层C的厚度为0.1-20μm;
4)在步骤3)获得的含金属层的介电陶瓷基体III的表面施加铜层D,获得含金属层的介电陶瓷基体IV;铜层D的厚度为≥1μm;
5)在步骤4)获得的含金属层的介电陶瓷基体IV的表面施加金属层E,获得含金属层的介电陶瓷基体V,即目标金属化介电陶瓷;金属层E的厚度为0.01-5μm;
其中,所述金属层A选自镍层、镍合金层以及钛层中的一种;所述金属层B选自铜层或金层;所述金属层E选自金层、镍金层、镍钯金层、锡层以及银层中的一种。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述金属层A的厚度为0.015-0.95μm。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于:所述金属层A的厚度为0.02-0.9μm。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于:所述金属层A的厚度为0.025-0.85μm。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于:所述金属层A的厚度为0.03-0.8μm。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于:所述金属层A的厚度为0.04μm、0.045μm、0.05μm、0.055μm、0.06μm、0.065μm、0.07μm或0.075μm中的一种。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的方法,其特征在于:所述金属层B的厚度为0.015-4.5μm。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于:所述金属层B的厚度为0.02-4μm。
9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于:所述金属层B的厚度为0.025-3.5μm。
10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于:所述金属层B的厚度为0.03-3μm。
11.根据权利要求10所述的方法,其特征在于:所述金属层B的厚度为0.035-2.5μm。
12.根据权利要求11所述的方法,其特征在于:所述金属层B的厚度为0.04-2μm。
13.根据权利要求12所述的方法,其特征在于:所述金属层B的厚度为0.045-1.5μm。
14.根据权利要求13所述的方法,其特征在于:所述金属层B的厚度为0.05μm、0.06μm、0.07μm、0.08μm、0.09μm、0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.4μm、0.5μm、0.6μm、0.7μm、0.8μm、0.9μm、1μm、1.1μm、1.2μm、1.3μm或1.4μm中的一种。
15.根据权利要求1-6、8-14中任一项所述的方法,其特征在于:所述银层C的厚度为0.15-18μm。
16.根据权利要求15所述的方法,其特征在于:所述银层C的厚度为0.2-16μm。
17.根据权利要求16所述的方法,其特征在于:所述银层C的厚度为0.25-14μm。
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