[发明专利]连熔法生产大尺寸石英玻璃板工艺、石英玻璃板及其应用

权利要求书

1.一种连熔法生产大尺寸石英玻璃板工艺，其特征在于，包括如下步骤：

连熔炉预热，给加热机构供电，使去掉芯杆设置的连熔炉的坩埚内形成梯级的加热区域；所述加热机构包括加热网以及辅助加热环，所述加热网以及所述辅助加热环分别独立供电，使所述坩埚内由上至下，位于加热网上方的区域形成预热区，位于加热网覆盖的区域形成熔融区，位于辅助加热环包围的区域形成成型区；通过调节所述加热网的输出功率，控制所述熔融区的温度为1800-2400℃，通过调节所述辅助加热环的输出功率，控制所述成型区的温度为2000-2400℃；

添加原材料，通过加料口向所述连熔炉的坩埚内连续加入石英砂；

石英玻璃板成型，石英砂经所述加热区域充分熔化，排出气体后，经成型器成型，并由炉口输出；

拉制石英玻璃板，由所述连熔炉输出的石英玻璃板靠重力下移，进入设置于所述连熔炉下方的石英玻璃板承接机构，所述石英玻璃板承接机构通过挤压摩擦力，使所述石英玻璃板被缓慢匀速拉出；

石英玻璃板尺寸调节，通过调整所述石英玻璃板承接机构与石英玻璃板之间的挤压摩擦力，改变所述石英玻璃板的拉出速率，获得所需尺寸的所述石英玻璃板；所述石英玻璃板的宽度为300-900mm、厚度为60-120mm；所述石英玻璃板的拉出速率为0.5-3cm/min；

石英玻璃板切割，对输出稳定的所述石英玻璃板进行切割，将切割下来的所述石英玻璃板翻转，使其沿水平方向传输。

2.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述连熔炉的成型器成型口的尺寸设置为长360-1000mm、宽30-120mm。

3.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述石英玻璃板切割步骤中，控制切割设备在切割所述石英玻璃板的同时，与所述石英玻璃板保持相同的速率下降。

4.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于，采用大尺寸石英玻璃板连熔炉进行制备，所述大尺寸石英玻璃板连熔炉包括炉体以及设置于所述炉体顶端的炉盖，所述炉体内设置有坩埚，所述坩埚的底端设置有成型器，所述成型器上设置有长条形的出料口；所述炉盖的上方设置有加料口；所述坩埚的外壁上设置有呈梯级加热的加热机构；所述炉体的底端对应所述出料口设置有长条形的炉口，供成型的玻璃板输出通过；所述炉体的下方设置有石英玻璃板承接机构。

5.一种石英玻璃板，其特征在于，所述石英玻璃板为采用权利要求1-4中任一项所述的工艺制备而成。

6.根据权利要求5所述的石英玻璃板，其特征在于，所述石英玻璃板的长度小于等于5000mm。

7.根据权利要求5-6任一项所述的石英玻璃板在半导体及光伏领域中制备石英玻璃清洗槽、石英舟的立板或侧板、坩埚盖板的应用或在光学领域中制备视窗或镜头的应用。