[发明专利]正型光刻胶组合物、制备正型光刻胶的方法和玻璃件在审
申请号: | 202010592219.0 | 申请日: | 2020-06-24 |
公开(公告)号: | CN113835297A | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | 卢泽宇 | 申请(专利权)人: | 深圳市万普拉斯科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039;G03F7/008;C03C15/00;H04M1/02 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 梁韬 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光刻 组合 制备 方法 玻璃 | ||
1.一种正型光刻胶组合物,其特征在于,按重量份计包括以下组分:15-25份二甲酚型线性酚醛树脂、60-80份稀释剂、3-8份光敏剂、0.5-2份增感剂、0.1-0.5份偶联剂、0.1-0.5份流平剂和0.5-2份交联剂。
2.根据权利要求1所述的正型光刻胶组合物,其特征在于,所述二甲酚型线性酚醛树脂的重均分子量8000-22000,软化点大于等于160℃。
3.根据权利要求1所述的正型光刻胶组合物,其特征在于,制备所述二甲酚型线性酚醛树脂的原料包括二甲酚、间甲酚和对甲酚,所述二甲酚占三种甲酚总质量的5%~40%。
4.根据权利要求3所述的正型光刻胶组合物,其特征在于,所述间甲酚与所述对甲酚的质量比1:1~1.5:1。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的正型光刻胶组合物,其特征在于,所述稀释剂包括沸点120℃-170℃的酯类溶剂;和/或
所述光敏剂包括邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物;和/或
所述增感剂包括TPPA-1000P、TPPA-100-2C、TPPA-1100-3C、TPPA-1100-4C、TPPA-1200-24X、TPPA-1200-26X、TPPA-1300-235T、TPPA-1600-3M6C和TPPA-MF中的至少一种;和/或
所述偶联剂包括具有选自氨基、酰胺基、脲基、酮亚胺基、异氰酸酯基、巯基、异氰脲酸环骨架、(甲基)丙烯酰基及苯乙烯基中的至少一个取代基的硅烷偶联剂;和/或
所述流平剂包括氟系表面活性剂、硅酮系表面活性剂、聚环氧烷烃系表面活性剂和聚(甲基)丙烯酸酯系表面活性剂中的至少一种;和/或
所述交联剂包括三聚氰胺。
6.根据权利要求5所述的正型光刻胶组合物,其特征在于,所述稀释剂包括丙二醇甲醚醋酸酯;和/或
所述光敏剂包括2,3,4-三羟基二苯甲酮-2,1,5-重氮萘醌磺酸酯;和/或
所述增感剂包括TPPA-1600-3M6C和TPPA-MF中的至少一种;和/或
所述偶联剂包括KBM-403;和/或
所述流平剂包括BYK-333;和/或
所述交联剂包括Cymel-300和Cymel-303中的至少一种。
7.一种制备正型光刻胶的方法,其特征在于,所述正型光刻胶利用权利要求1至6中任一项所述的正型光刻胶组合物形成,所述方法包括:
将所述二甲酚型线性酚醛树脂、所述稀释剂、所述光敏剂、所述增感剂、所述偶联剂、所述流平剂和所述交联剂搅拌分散得到浆体,将所述浆体进行过滤得到所述正型光刻胶。
8.一种玻璃纹理形成工艺,其特征在于,包括:
利用正型光刻胶在玻璃件上形成光刻胶膜,所述正型光刻胶通过权利要求7所述的方法获得;
对所述光刻胶膜曝光并显影以获得具有预定图案的光刻胶膜;
烘烤固化所述具有预定图案的光刻胶层;
利用氢氟酸蚀刻所述玻璃件以形成与所述预定图案对应的纹理。
9.一种具有纹理的玻璃件,其特征在于,所述玻璃件利用权利要求8所述的玻璃纹理形成工艺形成。
10.一种移动终端,其特征在于,包括根据权利要求9所述的具有纹理的玻璃件。
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