[发明专利]一种CF工序光刻胶返工液组合物

权利要求书

1.一种CF工序光刻胶返工液组合物，其特征在于，按质量百分比计，所述组合物包含以下组分：0.5-40%的无机碱性物质，0.5-45%的有机胺，0.1-50%的质子性极性有机溶剂，0.1-50%的非质子极性有机溶剂，0.1-30%的环状醇类化合物，0.01-10%的化学式A-Gemini型表面活性剂，其余量为水；所述化学式A-Gemini型表面活性剂，化学式A为：

；

其中n为1-13的整数。

2.根据权利要求1所述的一种CF工序光刻胶返工液组合物，其特征在于，按质量百分比计，所述组合物包含以下组分：5-30%的无机碱性物质，3-30%的有机胺，1-30%的质子性极性有机溶剂，1-30%的非质子极性有机溶剂，0.5-15%的环状醇类化合物，0.01-5%的化学式A-Gemini型表面活性剂，其余量为水。

3.根据权利要求1所述的一种CF工序光刻胶返工液组合物，其特征在于，所述无机碱性物质为氢氧化锂，氢氧化钠，氢氧化钾，氢氧化锶，氢氧化钙，氢氧化钡，碳酸钠，碳酸钾，碳酸氢钠，碳酸氢钾中至少一种。

4.根据权利要求1所述的一种CF工序光刻胶返工液组合物，其特征在于，所述有机胺为链烷醇胺，包括胆碱，单乙醇胺，二乙醇胺，三乙醇胺，单丙醇胺，2-氨基乙醇，2-（乙基氨基）乙醇，2-（甲基氨基）乙醇，N-甲基二乙醇胺，N,N-二甲基乙醇胺，N,N-二乙氨基乙醇，2-（2-氨基乙基氨基）-1-乙醇，1-氨基-2-丙醇，2-氨基-1-丙醇，3-氨基-1-丙醇，4-氨基-1-丁醇，二丁醇胺中的一种或几种。

5.根据权利要求1所述的一种CF工序光刻胶返工液组合物，其特征在于，所述质子性极性溶剂选自下组中的任意一种或多种，包括：乙二醇甲醚，乙二醇乙醚，乙二醇丁醚，乙二醇，丙二醇，二乙二醇单甲醚，二乙二醇单乙醚，二乙二醇单丁醚，丙二醇单甲醚，丙二醇单乙醚，丙二醇单丁醚。

6.根据权利要求1所述的一种CF工序光刻胶返工液组合物，其特征在于，所述非质子极性有机 溶剂选自下组中的任意一种或多种，包括：N-甲基吡咯烷酮，二乙基甲酰胺，二甲基丙酰胺，N-甲基丙酰胺，N-甲基甲酰胺，二甲基亚砜，二甲基乙酰胺，二乙基亚砜，二丙基亚砜，环丁砜。

7.根据权利要求1所述的一种CF工序光刻胶返工液组合物，其特征在于，所述环状醇类化合物包括环状芳香族醇或环状脂环类醇；其中环状芳香族醇选自苯酚，甲酚，二甲苯酚，邻苯二酚，间苯二酚，对苯二酚，邻苯三酚，苯三酚，邻羟基苄醇，苯甲醇，苯乙醇中的一种或几种；环状脂环类醇选自四氢糠醇，吡咯烷甲醇，吡咯烷乙醇，吡啶甲醇及吡啶乙醇中的一种或几种。

8.根据权利要求1所述的一种CF工序光刻胶返工液组合物，其特征在于，所述CF工序光刻胶返工液组合物的制备方法为：往纯水中先添加无机碱，有机胺，然后添加质子性极性有机溶剂和非质子性极性有机溶剂，加入Gemini型表面活性剂，在200rpm的搅拌速度下形成均一体系，一边搅拌一边将环状醇类化合物滴加到体系中，得到均一稳定澄清透明组合物。