[发明专利]晶圆自动承载系统及采用该系统传送晶圆的方法

权利要求书

1.一种晶圆自动承载系统，其包括：

真空腔室(1)，其中具有多个晶圆承载工位(11)；

多个第一桨(2)，其位于所述真空腔室(1)内且能够同步旋转；

多个第二桨(3)，其也位于所述真空腔室(1)内且也能够同步旋转，其中所述多个第二桨(3)中的每一者分别与所述多个第一桨(2)中的相应一者构成一对桨，以共同承载一晶圆；

双套磁流体(4)，其与所述真空腔室(1)密封连接，且连接至所述多个第一桨(2)和所述多个第二桨(3)，以驱动其中的一者或两者旋转；

第一驱动机构(5)，其连接于所述双套磁流体(4)，以通过所述双套磁流体(4)驱动所述多个第一桨(2)和所述多个第二桨(3)同步同向旋转；及

第二驱动机构(6)，其也连接于所述双套磁流体(4)，以通过所述双套磁流体(4)实现所述多个第一桨(2)和所述多个第二桨(3)之间的相对旋转。

2.根据权利要求1所述的晶圆自动承载系统，其中：所述双套磁流体(4)包括可相对彼此旋转的第一套圈(41)、第二套圈(42)和第三套圈(43)，所述第二套圈(42)连接至所述多个第一桨(2)，且所述第三套圈(43)连接至所述多个第二桨(3)。

3.根据权利要求1所述的晶圆自动承载系统，其中，所述第二套圈(42)包括齿轮(421)，所述第一驱动机构(5)包括与所述齿轮(421)啮合的同步带(51)。

4.根据权利要求3所述的晶圆自动承载系统，其中：所述第一驱动机构(5)还包括与所述同步带(51)啮合的另一齿轮(52)，所述另一齿轮(52)由电机(53)驱动旋转。

5.根据权利要求4所述的晶圆自动承载系统，其中：所述第一驱动机构(5)还包括位于所述另一齿轮(52)和所述电机(53)之间的减速机(54)。

6.根据权利要求5所述的晶圆自动承载系统，其中：所述第一驱动机构(5)还包括用于固定所述减速机(54)的固定板(55)，所述固定板(55)设置于所述减速机(54)和所述另一齿轮(52)之间。

7.根据权利要求2所述的晶圆自动承载系统，其中：所述第二驱动机构(6)为气缸驱动系统。

8.根据权利要求7所述的晶圆自动承载系统，其中，所述第二驱动机构(6)包括与所述第二套圈(42)固定连接的第一连杆(61)、与所述第三套圈(43)固定连接的第二连杆(62)、以及铰链连接于所述第一连杆(61)和所述第二连杆(62)之间的气缸部件(63)。

9.根据权利要求8所述的晶圆自动承载系统，其中，所述气缸部件(63)包括缸筒(631)和活塞杆(632)，所述活塞杆(632)的一端设置于所述缸筒(631)内，另一端与所述第一连杆(61)铰接；所述缸筒(631)与所述第二连杆(62)铰接。

10.根据权利要求8所述的晶圆自动承载系统，其中，所述第二驱动机构(6)还包括压缩空气旋转接头(64)，其与第二连杆(62)固定，所述压缩空气旋转接头(64)包括多个进气端口和多个出气端口，所述多个出气端口连接至所述缸筒(631)，以向其提供压缩气体。

11.根据权利要求2所述的晶圆自动承载系统，其中，所述第一套圈(41)上形成有凸缘(411)，以借助安装于所述凸缘(411)上的紧固件固定于所述真空腔室(1)的底壁上。

12.根据权利要求1所述的晶圆自动承载系统，其中所述真空腔室(1)内共有六个晶圆承载工位(11)，相应地共有六个第一桨(2)和六个第二桨(3)。