[发明专利]应用于晶圆盒自动封装设备中的封口模组

权利要求书

1.一种应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的封口模组(8)，其特征在于：包括抽气机构(83)、能够驱动所述抽气机构(83)滑行的驱动装置以及与所述抽气机构(83)配合的封口装置，所述抽气机构(83)设有用以抽气的吸嘴(830)，所述封口装置包括用以限位的压条(861、862)以及用以封口的封刀(841、842)。

2.根据权利要求1所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的封口模组(8)，其特征在于：还设有第二框架(81)，所述驱动装置包括固定于所述第二框架(81)上的移动框架导轨副(821)以及移动框架丝杠副(822)，所述移动框架导轨副(821)以及移动框架丝杠副(822)能够带动所述抽气机构(83)滑动。

3.根据权利要求2所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的封口模组(8)，其特征在于：还包括第二移动框架(82)，所述抽气机构(83)固定于所述第二移动框架(82)上，所述移动框架导轨副(821)以及移动框架丝杠副(822)能够带动所述第二移动框架(82)滑动。

4.根据权利要求1所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的封口模组(8)，其特征在于：还包括压条驱动单元(87)，所述压条(861、862)为一对，且一对所述压条(861、862)能够在所述压条驱动单元(87)的驱动下彼此相向移动和反向移动。

5.根据权利要求4所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的封口模组(8)，其特征在于：还包括压条导轨副(89)，所述压条(861、862)滑动连接于压条导轨副(89)上。

6.根据权利要求1所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的封口模组(8)，其特征在于：还包括封刀驱动单元(85)，所述封刀(841、842)为一对，且一对所述封刀(841、842)能够在所述封刀驱动单元(85)的驱动下彼此相向移动和反向移动。

7.根据权利要求6所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的封口模组(8)，其特征在于：还包括封刀导轨副(88)，所述封刀(841、842)滑动连接于封刀导轨副(88)上。

8.根据权利要求1所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的封口模组(8)，其特征在于：还包括抽气机构导轨副(831)，所述抽气机构(83)滑动连接于所述抽气机构导轨副(831)上。

9.根据权利要求1所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的封口模组(8)，其特征在于：还包括封边撸平机构(78)，所述封边撸平机构(78)位于包装平台(7)上，所述封边撸平机构(78)能够被驱动而将封边上折。